[实用新型]一种机械手定位装置有效

专利信息
申请号: 201821783360.3 申请日: 2018-10-31
公开(公告)号: CN209022080U 公开(公告)日: 2019-06-25
发明(设计)人: 文静;张阔峰;陶洪建;郑锋标 申请(专利权)人: 上海微电子装备(集团)股份有限公司
主分类号: B25J11/00 分类号: B25J11/00;B25J19/00
代理公司: 北京品源专利代理有限公司 11332 代理人: 胡彬
地址: 201203 上海市浦*** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 机械手 水平向 滑板 定位组件 重复定位 机械手定位装置 冲击振动 减震组件 驱动组件 可移动地设置 本实用新型 垂向运动 定位装置 光刻设备 驱动滑板 有效吸收 硅片 基板 上片 交接 驱动 吸收
【权利要求书】:

1.一种机械手定位装置,其特征在于,包括:

基板(1);

滑板(2),其可移动地设置在所述基板(1)上;

驱动组件,所述驱动组件被配置为能够驱动所述滑板(2)在垂直方向上往复运动;

定位组件,其设置在所述滑板(2)的顶端,所述定位组件用于为机械手进行水平向定位;

减震组件(3),其连接在所述滑板(2)与所述定位组件之间,用于吸收所述机械手与所述定位组件接触时产生的冲击振动。

2.根据权利要求1所述的机械手定位装置,其特征在于,所述驱动组件包括电机(4)和凸轮(5),所述凸轮(5)设置于所述电机(4)的输出轴上,所述滑板(2)上设置有从动轮(6),所述从动轮(6)与所述凸轮(5)的周面配合。

3.根据权利要求2所述的机械手定位装置,其特征在于,还包括弹性件(7),所述弹性件(7)的一端固定在所述基板(1)上,另一端固定在所述滑板(2)上,所述弹性件(7)被配置为使所述从动轮(6)始终与所述凸轮(5)周面接触。

4.根据权利要求1所述的机械手定位装置,其特征在于,所述定位组件包括定位板(8)和调整板(9),所述定位板(8)上设置有若干定位凸台(81),若干所述定位凸台(81)均与所述调整板(9)接触。

5.根据权利要求4所述的机械手定位装置,其特征在于,所述定位凸台(81)与所述定位板(8)一体成型。

6.根据权利要求4所述的机械手定位装置,其特征在于,所述定位板(8)的一端设置有V型槽,另一端设置有定位平面,所述机械手上的两个定位滚轮(13)分别与所述V型槽和所述定位平面接触定位。

7.根据权利要求4所述的机械手定位装置,其特征在于,所述减震组件(3)包括两个簧片,分别设置在所述滑板(2)顶部的两端,所述簧片呈U型,所述簧片包括底部和两个侧部,所述底部固定在所述滑板(2)上,两个所述侧部分别固定在所述定位板(8)和所述调整板(9)上。

8.根据权利要求4所述的机械手定位装置,其特征在于,所述减震组件(3)包括两组弹簧,分别设置在所述滑板(2)顶部的两端,每组所述弹簧均包括第一弹簧和第二弹簧,所述第一弹簧连接所述滑板(2)和所述定位板(8),所述第二弹簧连接所述滑板(2)和所述调整板(9)。

9.根据权利要求1所述的机械手定位装置,其特征在于,所述滑板(2)与所述基板(1)之间通过导轨(10)与滑块(11)连接。

10.根据权利要求1所述的机械手定位装置,其特征在于,所述滑板(2)与所述基板(1)之间通过交叉滚子导轨(12)连接。

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