[实用新型]一种机械手定位装置

说明书

本实用新型涉及光刻设备技术领域，尤其涉及一种机械手定位装置。该定位装置的滑板可移动地设置在基板上，驱动组件驱动滑板在垂直方向上往复运动。定位组件设置在滑板的顶端，用于为机械手进行水平向定位，减震组件连接在滑板与定位组件之间，用于吸收机械手与定位组件接触时产生的冲击振动。该滑板能在驱动组件的驱动作用下在垂直方向上往复运动，有效提高了垂向往复运动时的重复性精度，从而减少垂向运动对水平向重复定位精度的影响，提高机械手的水平向重复定位精度；通过设置减震组件，可有效吸收机械手定位时产生的冲击振动，进一步提高机械手的水平向重复定位精度，从而提高硅片交接和上片位置重复性精度。

技术领域

本实用新型涉及光刻设备技术领域，尤其涉及一种机械手定位装置。

背景技术

光刻设备的硅片传输系统中，需要用机械手快速、准确、可靠的将硅片从预对准工位传递至工件台上。为保证硅片在从预对准工位到工件台上的位置精度，要求机械手在取片和放片时的水平向重复定位精度达到1μm。在实际工作中机械手末端定位精度与重复性精度较低，重复性精度在50μm左右，而先进光刻机对硅片的上片重复性精度要求远高于此，因此，仅仅依靠机械手自身的精度是无法满足使用需求的。

目前在硅片传输系统中常用的定位方式为V型槽定位结构。如图1所示，定位结构安装在预对准工位或工件台1’上。在机械手腕部2’设置有两个定位滚轮3’，定位板4’上设置V型槽41’及定位平面42’。当机械手与目标硅片进行交接时，机械手腕部2’的定位滚轮3’与定位板4’接触，其中一侧的定位滚轮3’与定位板的V型槽41’接触，另一侧的定位滚轮3’与定位平面42’接触，通过三点接触，限制机械手末端X、Y、Rz三个方向的自由度，从而对片叉5’的取片或放片过程进行定位。该定位过程中，机械手与定位板4’接触时会产生冲击振动，影响水平向定位精度及重复性精度。

另一方面，如图2所示，目前光刻设备的机械手定位结构，其垂向运动单元为电机6’驱动滚珠丝杠结构。由于滚珠丝杠结构自身存在配合间隙，垂向往复运动时的重复性精度较低，垂向运动会影响机械手水平向的重复定位精度，进而影响机械手取片和放片位置的准确性。

因此，亟需提供一种机械手定位装置，以克服现有技术中存在的机械手定位时易产生冲击振动及水平向重复定位精度低的技术问题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种机械手定位装置，该定位装置能够有效吸收机械手定位时产生的冲击振动，提高机械手水平向重复定位精度。

为达此目的，本实用新型采用以下技术方案：

一种机械手定位装置，包括：

基板；

滑板，其可移动地设置在所述基板上；

驱动组件，所述驱动组件被配置为能够驱动所述滑板在垂直方向上往复运动；

定位组件，其设置在所述滑板的顶端，所述定位组件用于为机械手进行水平向定位；

减震组件，其连接在所述滑板与所述定位组件之间，用于吸收所述机械手与所述定位组件接触时产生的冲击振动。

作为上述机械手定位装置的优选技术方案，所述驱动组件包括电机和凸轮，所述凸轮设置于所述电机的输出轴上，所述滑板上设置有从动轮，所述从动轮与所述凸轮的周面配合。

作为上述机械手定位装置的优选技术方案，还包括弹性件，所述弹性件的一端固定在所述基板上，另一端固定在所述滑板上，所述弹性件被配置为使所述从动轮始终与所述凸轮周面接触。

作为上述机械手定位装置的优选技术方案，所述定位组件包括定位板和调整板，所述定位板上设置有若干定位凸台，若干所述定位凸台均与所述调整板接触。

作为上述机械手定位装置的优选技术方案，所述定位凸台与所述定位板一体成型。