[实用新型]一种硅片连续式自定位传输机构

权利要求书

1.一种硅片连续式自定位传输机构，其特征在于，包括：

传片机构(1)，所述传片机构(1)为辊式输送，其包括输送辊组件(11)与驱动组件(12)，所述驱动组件(12)驱动所述输送辊组件(11)输送硅片(10)；

第一定位机构(2)，所述第一定位机构(2)设置于所述传片机构(1)的输出端，其正对所述传片机构(1)设置，其包括第一滑动组件(21)与第一定位组件(22)，所述第一滑动组件(21)驱动所述第一定位组件(22)沿所述传片机构(1)的输送方向对所述硅片(10)定位；以及

第二定位机构(3)，所述第二定位机构(3)设置于所述传片机构(1)的输出端处，其包括第二滑动组件(31)与第二定位组件(32)，所述第二滑动组件(31)位于所述第一定位组件(22)的下方，其长度方向与所述传片机构(1)的输送方向水平垂直设置，所述第二定位组件(32)水平对称设置于所述第一定位组件(22)的两侧，其由所述第二滑动组件(31)驱动沿所述第二滑动组件(31)的长度方向同步滑动，且其沿与所述传片机构(1)的输送方向的水平垂直方向对所述硅片(10)两侧定位。

2.根据权利要求1所述的一种硅片连续式自定位传输机构，其特征在于，所述输送辊组件(11)包括：

辊轮(111)，若干所述辊轮(111)沿所述传片机构(1)的输送方向依次排列并转动设置于安装架(110)上；

第一传动齿轮(112)，若干所述第一传动齿轮(112)分别固定设置于若干所述辊轮(111)的一端，其与所述辊轮(111)同轴设置；以及

第二传动齿轮(113)，若干所述第二传动齿轮(113)交错设置于所述第一传动齿轮(112)之间，其与所述安装架(110)转动连接，且其与所述第一传动齿轮(112)啮合连接。

3.根据权利要求2所述的一种硅片连续式自定位传输机构，其特征在于，所述驱动组件(12)包括：

驱动件a(121)，所述驱动件a(121)通过支架(120)设置于所述安装架(110)底部一端靠近所述第一传动齿轮(112)的一侧，其驱动轴a(1211)正对所述第一传动齿轮(112)与所述辊轮(111)平行设置；

主动齿轮(122)，所述主动齿轮(122)同轴设置于所述驱动轴a(1211)上；

从动齿轮(123)，所述从动齿轮(123)设置于所述驱动件a(121)上方，其与所述安装架(110)转动连接，所述从动齿轮(123)底部与所述主动齿轮(122)啮合连接，其一侧与所述第一传动齿轮(112)啮合连接，所述驱动件a(121)通过主动齿轮(122)、从动齿轮(123)、第一传动齿轮(112)及第二传动齿轮(113)传动驱动所述辊轮(111)转动。

4.根据权利要求1所述的一种硅片连续式自定位传输机构，其特征在于，所述第一滑动组件(21)包括：

第一安装座(211)，所述第一安装座(211)水平垂直于所述第二滑动组件(31)设置于底座(210)上；

第一丝杠(212)，所述第一丝杠(212)转动设置于所述第一安装座(211)上；

第一驱动件(213)，所述第一驱动件(213)通过驱动轴固定设置于所述第一丝杠(212)的一端，其驱动所述第一丝杠(212)转动。

5.根据权利要求4所述的一种硅片连续式自定位传输机构，其特征在于，所述第一定位组件(22)包括：

第一滑块(221)，所述第一滑块(221)套设于所述第一丝杠(212)上，其由所述第一丝杠(212)转动带动沿所述传片机构(1)的输送方向往复滑动；

第一连接板(222)，所述第一连接板(222)的一端与所述第一滑块(221)可拆卸连接，另一端延伸至所述第二定位组件(32)之间；

第一定位板(223)，所述第一定位板(223)竖直设置于所述第一连接板(222)背离所述第一滑块(221)的一端，且其与所述第一定位板(223)的长度方向垂直设置，其沿所述传片机构(1)的输送方向对所述硅片(10)定位。