[实用新型]一种用于溅射镀膜机的鼠笼式可旋转基片架有效
| 申请号： | 201821795156.3 | 申请日： | 2018-11-02 |
| 公开（公告）号： | CN209210914U | 公开（公告）日： | 2019-08-06 |
| 发明（设计）人： | 郭翔宇 | 申请（专利权）人： | 长沙迈博光电有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50;C23C14/34 |
| 代理公司： | 安化县梅山专利事务所 43005 | 代理人： | 夏赞希 |
| 地址： | 410000 湖南省长沙市长沙经济技术开发*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 基片架 上盘 下盘 溅射镀膜机 可旋转 鼠笼式 本实用新型 电机连接件 挂槽 结构稳固 基片板 连接孔 螺纹孔 螺接 卸下 | ||
【权利要求书】：
1.一种用于溅射镀膜机的鼠笼式可旋转基片架，其特征在于：包括上盘、下盘和连杆，所述上盘与下盘的端面均开设有挂槽和螺纹孔，所述连杆的两端分别设置于所述上盘与下盘的挂槽内，所述上盘上还设置有电机连接件，所述电机连接件上开设有连接孔，所述基片架通过下盘螺接有基片。
2.根据权利要求1所述的一种用于溅射镀膜机的鼠笼式可旋转基片架，其特征在于：所述上盘与所述下盘的横截面均为圆形。
3.根据权利要求1所述的一种用于溅射镀膜机的鼠笼式可旋转基片架，其特征在于：所述连杆为4根。
4.根据权利要求3所述的一种用于溅射镀膜机的鼠笼式可旋转基片架，其特征在于：4根所述连杆均匀分布在所述上盘与下盘的挂槽内，呈上盘或下盘的中心轴线对称分布。
5.根据权利要求1或4所述的一种用于溅射镀膜机的鼠笼式可旋转基片架，其特征在于：所述螺纹孔为4个。
6.根据权利要求5所述的一种用于溅射镀膜机的鼠笼式可旋转基片架，其特征在于：所述螺纹孔的位置与所述连杆的位置相对应。
7.根据权利要求1所述的一种用于溅射镀膜机的鼠笼式可旋转基片架，其特征在于：所述电机连接件为法兰连接件。
8.根据权利要求1所述的一种用于溅射镀膜机的鼠笼式可旋转基片架，其特征在于：所述连接孔为法兰连接孔。
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