[实用新型]一种用于溅射镀膜机的鼠笼式可旋转基片架

说明书

本实用新型公开了一种用于溅射镀膜机的鼠笼式可旋转基片架，包括上盘、下盘和连杆，所述上盘与下盘的端面均开设有挂槽和螺纹孔，所述连杆的两端分别设置于所述上盘与下盘的挂槽内，所述上盘上还设置有电机连接件，所述电机连接件上开设有连接孔，基片架通过下盘螺接有基片。本实用新型提供的一种用于溅射镀膜机的鼠笼式可旋转基片架，结构稳固可靠，基片板架安装和卸下也是非常的方便快捷。

技术领域

本实用新型涉及一种基片架，尤其是一种用于溅射镀膜机的鼠笼式可旋转基片架。

背景技术

目前在溅射镀膜机的设备领域，基片可以实现边旋转边镀膜，然而基片在旋转过程中的稳固安装，及便捷的安装与拆卸，仍然是一大问题。

实用新型内容

为解决上述技术问题，本实用新型提供了一种用于溅射镀膜机的鼠笼式可旋转基片架。

本实用新型的技术方案为：一种用于溅射镀膜机的鼠笼式可旋转基片架，包括上盘、下盘和连杆，所述上盘与下盘的端面均开设有挂槽和螺纹孔，所述连杆的两端分别设置于所述上盘与下盘的挂槽内，所述上盘上还设置有电机连接件，所述电机连接件上开设有连接孔，所述基片架通过下盘螺接有基片。

优选地，所述上盘与所述下盘的横截面均为圆形。

优选地，所述连杆为4根。

优选地，4根所述连杆均匀分布在所述上盘与下盘的挂槽内，呈上盘或下盘的中心轴线对称分布。

优选地，所述螺纹孔为4个。

优选地，所述螺纹孔的位置与所述连杆的位置相对应。

优选地，所述电机连接件为法兰连接件。

优选地，所述连接孔为法兰连接孔。

与现有技术相比，本实用新型具有如下有益效果：本实用新型提供的一种用于溅射镀膜机的鼠笼式可旋转基片架，结构稳固可靠，基片板架安装在此基片架上，完全不用担心会掉落；此设计安装方便，拆洗方便；基片板架安装和卸下也是非常的方便快捷。

附图说明

图1为本实用新型的基片架结构示意图。

图2为本实用新型的基片结构示意图。

具体实施方式

下面结合附图以及具体实施方式，对本实用新型做进一步说明。

如图1至图2所示，一种用于溅射镀膜机的鼠笼式可旋转基片架，包括上盘1、下盘2和连杆3，本上盘1与下盘2的横截面均为圆形，上盘1与下盘2由连杆3连接。

上盘1与下盘2的端面均开设有挂槽11(21)和螺纹孔12(22)，连杆3的两端分别设置于上盘1与下盘2的挂槽内，连杆3优选为4根，4根连杆3均匀分布在上盘1与下盘2的挂槽内，呈上盘1或下盘2的中心轴线对称分布；而螺纹孔12(22)优选为4个，螺纹孔12(22)的位置与连杆3的位置相对应。

本上盘1上还设置有电机连接件4，电机连接件4优选为法兰连接件，法兰连接件4上开设有法兰连接孔5。

本下盘2底端螺接有基片6，基片6上具有挂部边沿61，挂部边沿上开设有螺纹孔，当基片6与基片架连接时，挂部边沿61嵌入设置于下盘2的挂槽21内，基片6和下盘上的螺纹孔内可穿设螺钉实现连接。

本实用新型的工作原理为：整个基片架通过法兰连接孔和设备上的旋转电机连接，基片板架则通过限位螺钉固定在上盘和下盘的凹槽内，以达到和基片架融合在一起，基片设置在基片板架上，通过电机获得不同的旋转速度。

上述的实施例仅为本实用新型的优选实施例，不能以此来限定本实用新型的权利范围，因此，依本实用新型申请专利范围所作的修改、等同变化、改进等，仍属本实用新型所涵盖的范围。