[实用新型]一种配备旋转辅助阳极的中空镀膜机腔体有效
| 申请号： | 201821808837.9 | 申请日： | 2018-11-05 |
| 公开（公告）号： | CN209162182U | 公开（公告）日： | 2019-07-26 |
| 发明（设计）人： | 刘玉杰 | 申请（专利权）人： | 天津涂冠科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/32 | 分类号： | C23C14/32 |
| 代理公司： | 北京中索知识产权代理有限公司 11640 | 代理人： | 赵登阳 |
| 地址： | 300000 天津市津南*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 辅助阳极 转架 本实用新型 镀膜机 中空 拨盘 腔体 绝缘层 工件通孔 腔体结构 旋转轨道 支撑底座 镀通孔 离化源 腔体壳 深径比 旋转轴 旋转珠 配备 底座 镀膜 法兰 内孔 转盘 支撑 改造 | ||
1.一种配备旋转辅助阳极的中空镀膜机腔体，包括腔体壳层(1)、离化源法兰(2)、辅助阳极旋转轨道(3)、转架拨盘(4)、支撑转架底座(5)、转架主轴(6)、辅助阳极绝缘层(7)、辅助阳极旋转轴(8)、辅助阳极旋转珠部件(9)、转架转盘(10)、转架支撑底座(11)和转架主轴拨盘(12)。
2.根据权利要求1所述的一种配备旋转辅助阳极的中空镀膜机腔体，其特征在于，所述腔体壳层(1)和离化源法兰(2)内布有循环水冷夹层，为腔体提供冷却，所述腔体壳层(1)内的腔体关闭大门后，所述腔体壳层(1)整体为圆柱型。
3.根据权利要求1所述的一种配备旋转辅助阳极的中空镀膜机腔体，其特征在于，所述辅助阳极旋转轨道(3)焊接在腔体壳层(1)上，所述腔体壳层(1)内的腔体大门关闭后，所述辅助阳极旋转轨道(3)形成圆形连续轨道。
4.根据权利要求1所述的一种配备旋转辅助阳极的中空镀膜机腔体，其特征在于，所述腔体壳层(1)内的腔体内设有转架，所述支撑转架底座(5)与转架支撑底座(11)对接，所述转架拨盘(4)的两柱体拨叉卡入转架主轴拨盘(12)，减速机转动转架拨盘(4)，所述转架拨盘(4)拨动转架主轴拨盘(12)，所述转架主轴(6)带动转架转盘(10)及辅助阳极旋转轴(8)转动。
5.根据权利要求1所述的一种配备旋转辅助阳极的中空镀膜机腔体，其特征在于，所述辅助阳极旋转珠部件(9)固定在辅助阳极旋转轴(8)上，调节合适的距离，所述辅助阳极旋转珠部件(9)的转珠进入辅助阳极旋转轨道(3)与之连接并带动旋转。
6.根据权利要求1所述的一种配备旋转辅助阳极的中空镀膜机腔体，其特征在于，所述辅助阳极绝缘层(7)使辅助阳极旋转轴(8)与转架主轴(6)绝缘，所述转架拨盘(4)与腔体壳层(1)绝缘，所述转架转盘(10)内部绝缘结构使转架转盘(10)与转架支撑底座(11)绝缘。
7.根据权利要求1所述的一种配备旋转辅助阳极的中空镀膜机腔体，其特征在于，偏压电源阳极接在腔体壳层(1)上，偏压电源阴极通过转架拨盘(4)接在转架上，辅助阳极旋转轴(8)与腔体壳层(1)连接从而提供旋转辅助阳极，通过辅助阳极绝缘层(7)使辅助阳极旋转轴(8)与转架主轴(6)绝缘。
8.根据权利要求1所述的一种配备旋转辅助阳极的中空镀膜机腔体，其特征在于，所述辅助阳极旋转轴(8)上可配备各种固定阳极辅助件将阳极引入工件内孔，所述工件与阴极转架相连。
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