[实用新型]一种陶瓷盘转运设备有效
申请号: | 201821827668.3 | 申请日: | 2018-11-07 |
公开(公告)号: | CN209175515U | 公开(公告)日: | 2019-07-30 |
发明(设计)人: | 严政先;张碧波;戴超;张丰;李笑岩;李健乐;王帅;孙晨光 | 申请(专利权)人: | 天津中环领先材料技术有限公司 |
主分类号: | B24B41/00 | 分类号: | B24B41/00;B24B27/00 |
代理公司: | 天津滨海科纬知识产权代理有限公司 12211 | 代理人: | 刘莹 |
地址: | 300384 天津市滨海新区*** | 国省代码: | 天津;12 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 陶瓷盘 方向移动 模组装置 转运设备 吸盘机构 开合 转运 本实用新型 电机驱动 硅片 吸盘 操作失误 工作效率 硅片抛光 抛光过程 人工参与 丝杠驱动 伺服电机 真空吸盘 转运位置 抛光机 抛光 移动 精抛 内置 涂蜡 | ||
1.一种陶瓷盘转运设备,其特征在于:包括xyz方向移动模组装置(2)和开合吸盘机构(3),二者均通过伺服电机(5)驱动,所述xyz方向移动模组装置(2)包括两个x向模组(21)、两个y向模组(22)和一个z向模组(23),所述开合吸盘机构(3)固设于所述z向模组(23)上部,包括开合机构(31)和两个吸盘机构(32),两个所述吸盘机构(32)分别与开合机构(31)滑动连接,方向水平且互相平行;
所述开合机构(31)包括底板(310)、丝杠(6)和位于丝杠(6)两侧的导轨(311),所述丝杠(6)上设有两个与其匹配连接的丝母(321),两个所述丝母(321)的内螺纹方向相反,所述导轨(311)上设有两个与其滑动连接的滑块(322),所述吸盘机构(32)包括连接板(320)和位于连接板(320)一端的两个真空吸盘(323),所述连接板(320)远离真空吸盘(323)的一端与位于开合机构(31)同一侧的丝母(321)和两个滑块(322)固定连接,两个所述吸盘机构(32)上的真空吸盘(323)位置对称。
2.根据权利要求1所述的一种陶瓷盘转运设备,其特征在于:两个所述x向模组(21)对称设置于底座(7)之上,两个所述y向模组(22)分别竖直设置于两个x向模组(21)上,两个所述y向模组(22)相互平行对称且能够沿着x向模组(21)滑动,所述z向模组(23)垂直设置于两个y向模组(22)上,能够沿着y向模组(22)滑动。
3.根据权利要求1所述的一种陶瓷盘转运设备,其特征在于:两个所述x向模组(21)长度相同,位置相对,两者同一方向的顶端之间设有连杆(4),伺服电机(5)位于连杆(4)的一端,伺服电机(5)通过驱动连杆(4)带动两个x向模组(21)的内置丝杠(6)同时转动。
4.根据权利要求1所述的一种陶瓷盘转运设备,其特征在于:两个所述y向模组(22)长度相同,位置相对,两者同一方向的顶端之间设有连杆(4),伺服电机(5)位于连杆(4)的一端,伺服电机(5)通过驱动连杆(4)带动两个y向模组(22)的内置丝杠(6)同时转动。
5.根据权利要求1所述的一种陶瓷盘转运设备,其特征在于:两个所述丝母(321)相对的一侧设有拱形槽(3211),槽口尺寸大于丝杠(6)外径。
6.根据权利要求1所述的一种陶瓷盘转运设备,其特征在于:所述真空吸盘(323)均与气泵相连通。
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