[实用新型]一种陶瓷盘转运设备

说明书

本实用新型提供了一种陶瓷盘转运设备，该陶瓷盘转运设备用于转运抛光过程中使用涂蜡法粘有硅片的陶瓷盘，旨在提供一种具有转运效率高、转运位置准确的转运设备，包括xyz方向移动模组装置和开合吸盘机构，xyz方向移动模组装置与开合吸盘机构均通过伺服电机与内置的丝杠驱动，电机驱动xyz方向移动模组装置移动到特定位置，开合吸盘机构上的四个真空吸盘吸取四个陶瓷盘，然后电机驱动xyz方向移动模组装置将四个陶瓷盘移动到第二个抛光机进行硅片精抛。本实用新型能够有效提升硅片抛光过程中的陶瓷盘转运效率，采用四个吸盘同时吸取方法，缩短抛光时间，减少人工参与，降低操作失误率，提升工作效率。

技术领域

本实用新型涉及半导体材料领域，特别是涉及一种陶瓷盘转运设备。

背景技术

在半导体材料领域，半导体硅单晶片需要多次抛光才能达到所需的效果，抛光之前，将蜡涂抹到硅片表面，然后烘干，使用机械手翻转将其放置于陶瓷盘上，进行加载，使陶瓷盘与硅片粘合，然后将粘有硅片的陶瓷盘放到抛光机上对硅片进行粗抛，粗抛完成后，用机械手将陶瓷盘连带硅片传送至下一个抛光机，现有技术中，通常采用单臂机械手将陶瓷盘连带硅片传送至下一个抛光机，每次只能抓取一个，严重影响抛光效率，浪费生产时间，难以操作且容易出现误操作。

实用新型内容

有鉴于此，本实用新型旨在上述现有技术中存在的缺陷，提供一种陶瓷盘转运设备。

为达到上述目的，本实用新型的技术方案是这样实现的：

一种陶瓷盘转运设备，包括xyz方向移动模组装置和开合吸盘机构，二者均通过伺服电机驱动，所述xyz方向移动模组装置包括两个x向模组、两个y向模组和一个z向模组，所述开合吸盘机构固设于所述z向模组上部，包括开合机构和两个吸盘机构，两个所述吸盘机构分别与开合机构滑动连接，方向水平且互相平行；

所述开合机构包括底板、丝杠和位于丝杠两侧的导轨，所述丝杠上设有两个与其匹配连接的丝母，两个所述丝母的内螺纹方向相反，所述导轨上设有两个与其滑动连接的滑块，所述吸盘机构包括连接板和位于连接板一端的两个真空吸盘，所述连接板远离真空吸盘的一端与位于开合机构同一侧的丝母和两个滑块固定连接，两个所述吸盘机构上的真空吸盘位置对称。

进一步地，两个所述x向模组对称设置于底座之上，两个所述y向模组分别竖直设置于两个x向模组上，两个所述y向模组相互平行对称且能够沿着x向模组滑动，所述z向模组垂直设置于两个y向模组上，能够沿着y向模组滑动。

进一步地，两个所述x向模组长度相同，位置相对，两者同一方向的顶端之间设有连杆，伺服电机位于连杆的一端，伺服电机通过驱动连杆带动两个x向模组的内置丝杠同时转动。

进一步地，两个所述y向模组长度相同，位置相对，两者同一方向的顶端之间设有连杆，伺服电机位于连杆的一端，伺服电机通过驱动连杆带动两个y向模组的内置丝杠同时转动。

进一步地，两个所述丝母相对的一侧设有拱形槽，槽口尺寸大于丝杠外径。

进一步地，所述真空吸盘均与气泵相连通。

相对于现有技术，本实用新型的有益效果是：本实用新型所述的一种陶瓷盘转运设备，解决了硅片抛光过程中的转运效率问题，实现了利用四个吸盘同时转运四个陶瓷盘，大大节约了工作时间，提高生产效率，具有高效性、稳定性、易操作等优点。

附图说明

构成本实用新型的一部分的附图用来提供对本实用新型的进一步理解，本实用新型的示意性实施例及其说明用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的不当限定。在附图中：

图1为本实用新型所述的一种陶瓷盘转运设备立体结构示意图；

图2为本实用新型所述的一种陶瓷盘转运设备xyz方向移动模组装置立体结构示意图；