[实用新型]加热器铠甲有效
申请号: | 201821835770.8 | 申请日: | 2018-11-08 |
公开(公告)号: | CN208949395U | 公开(公告)日: | 2019-06-07 |
发明(设计)人: | 陈君 | 申请(专利权)人: | 宁波涂冠镀膜科技有限公司 |
主分类号: | C23C14/35 | 分类号: | C23C14/35 |
代理公司: | 苏州谨和知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 32295 | 代理人: | 叶栋 |
地址: | 315000 浙江省宁*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 加热器 保护罩 铠甲 弧形板 本实用新型 弹性金属片 加热组件 可拆卸的 连接器 可拆卸式设置 真空镀膜设备 加热器接触 空心圆柱状 保护配件 拆卸更换 使用寿命 一端连接 内连接 靶材 沉积 制备 外围 | ||
1.一种加热器铠甲,其特征在于:所述加热器铠甲包括一个或者至少两个加热组件,所述加热组件包括加热器和可拆卸式设置在所述加热器外围的保护罩,所述保护罩整体呈空心圆柱状,所述保护罩包括第一弧形板,第二弧形板以及用于将第一弧形板与第二弧形板可拆卸的固定在一起的连接器,所述保护罩内连接有弹性金属片,所述弹性金属片一端连接在所述保护罩上,另一端与所述加热器接触。
2.根据权利要求1所述的加热器铠甲,其特征在于:所述加热器为圆柱形加热器。
3.根据权利要求1所述的加热器铠甲,其特征在于:所述第一弧形板和第二弧形板均为金属铜制备而成。
4.根据权利要求1所述的加热器铠甲,其特征在于:所述连接器为连接在所述第一弧形板和所述第二弧形板之间的铜铆钉。
5.根据权利要求1所述的加热器铠甲,其特征在于:所述加热组件之间设置有将所述加热组件相互连接的铜板。
6.根据权利要求1所述的加热器铠甲,其特征在于:所述弹性金属片为弹性铜片。
7.根据权利要求2所述的加热器铠甲,其特征在于:所述加热器与保护罩的径向间距为5mm-10mm。
8.根据权利要求1所述的加热器铠甲,其特征在于:所述加热组件的数量为3个。
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