[实用新型]加热器铠甲

说明书

本实用新型涉及一种真空镀膜设备的加热器保护配件，具体是一种可拆卸的加热器铠甲。该加热器铠甲包括一个或者至少两个加热组件，加热组件包括加热器和可拆卸式设置在加热器外围的保护罩，保护罩整体呈空心圆柱状，保护罩包括第一弧形板，第二弧形板以及用于将第一弧形板与第二弧形板可拆卸的固定在一起的连接器，保护罩内连接有弹性金属片，弹性金属片一端连接在保护罩上，另一端与加热器接触。本实用新型的有益效果在于：本实用新型涉及的加热器铠甲，通过保护罩可防止靶材沉积于加热器上，延长加热器的使用寿命，另外保护罩容易制备，易于拆卸更换，降低了使用成本。

技术领域

本实用新型涉及一种真空镀膜设备的加热器保护配件，具体是一种可拆卸的加热器铠甲。

背景技术

随着现代工业技术的发展，磁控溅射镀膜的需求越来越大。目前，磁控溅射应用于大量领域，如光电、装饰、微电子、机械加工等，主要是由于其具有高速、低温、低损伤等特点。

根据不同应用领域的需求，对所镀膜层的功能性要求也不同，但是总体上，目前各行业对所镀膜层的功能性要求有越来越高的趋势，膜系结构也趋向于越来越复杂。

在磁控溅射镀膜设备中，加热器是重要的组成器件，但是在镀膜过程中靶材成分易沉积在加热器上，使其热效率降低，降低加热器的使用寿命。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供能够改善加热器的使用环境，便于制备，可拆卸更换，提高加热器的使用寿命的加热器铠甲。

为达到上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种加热器铠甲，该加热器铠甲包括一个或者至少两个加热组件，所述加热组件包括加热器和可拆卸式设置在所述加热器外围的保护罩，所述保护罩整体呈空心圆柱状，所述保护罩包括第一弧形板，第二弧形板以及用于将第一弧形板与第二弧形板可拆卸的固定在一起的连接器，所述保护罩内连接有弹性金属片，所述弹性金属片一端连接在所述保护罩上，另一端与所述加热器接触。

进一步地，所述加热器为圆柱形加热器，加热器与保护罩的形状相匹配。可以使加热器的加热更加均匀。

进一步地，所述第一弧形板和第二弧形板均为金属铜制备而成。采用金属铜作为保护罩的制作材料，可以提高保护罩的导热效率，进而提高加热器的加热效果。

进一步地，所述连接器为连接在所述第一弧形板和所述第二弧形板之间的铜铆钉。

进一步地，所述加热组件之间设置有将所述加热组件相互连接的铜板。通过铜板将加热组件可拆卸式的连接在一起，方便可靠。

进一步地，所述弹性金属片为弹性铜片，通过弹性铜片的设置，可以加快加热器与保护罩的热交换效率。

进一步地，所述加热器与保护罩的径向间距为5mm‐10mm。

进一步地，所述加热组件的数量为3个。

本实用新型的有益效果在于：本实用新型涉及的加热器铠甲，通过保护罩可防止靶材沉积于加热器上，延长保护罩的使用寿命，另外保护罩容易制备，易于拆卸更换，降低了使用成本。

上述说明仅是本实用新型技术方案的概述，为了能够更清楚了解本实用新型的技术手段，并可依照说明书的内容予以实施，以下以本实用新型的较佳实施例并配合附图详细说明如后。

附图说明

图1为加热器铠甲的整体结构示意图。

图2为图1中加热组件的结构示意图。

具体实施方式

下面结合附图和实施例，对本实用新型的具体实施方式作进一步详细描述。以下实施例用于说明本实用新型，但不用来限制本实用新型的范围。