[实用新型]一种靶材顶部及底部拼接式保护罩有效
| 申请号： | 201821841709.4 | 申请日： | 2018-11-09 |
| 公开（公告）号： | CN209081973U | 公开（公告）日： | 2019-07-09 |
| 发明（设计）人： | 周磊;窦沛静;丁媛 | 申请（专利权）人： | 天津市凌云精密机电有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/32;C23C14/22 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 300000 天津市河西区*** | 国省代码： | 天津;12 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 拼接 保护罩 拼接式 卡槽 本实用新型 绝缘件 抗压层 靶材 卡块 防锈层 内表壁 外表壁 | ||
1.一种靶材顶部及底部拼接式保护罩，包括保护罩本体(1)，其特征在于：所述保护罩本体(1)包括第一拼接罩(101)和第二拼接罩(102)，所述第二拼接罩(102)位于第一拼接罩(101)一侧，所述第一拼接罩(101)的内表壁设置有第一抗压层(2)，所述第一抗压层(2)的外表壁设置有第一防锈层(3)，所述第一拼接罩(101)的内部上方设置有第一卡块(4)，所述第一卡块(4)上开设有第一凹槽(6)，所述第一凹槽(6)的内部一侧开设有卡槽(11)，所述第二拼接罩(102)的内表壁设置有第二抗压层(10)，所述第二抗压层(10)的内表壁设置有第二防锈层(9)，所述第二拼接罩(102)的内部上方设置有第二卡块(8)，所述第二卡块(8)上开设有第二凹槽(7)，所述保护罩本体(1)的上方设置有固定板(5)，且保护罩本体(1)的两端均开设有槽口(12)，两个所述槽口(12)的内部均设置有防滑纹(13)。
2.根据权利要求1所述的一种靶材顶部及底部拼接式保护罩，其特征在于：所述保护罩本体(1)和固定板(5)焊接固定连接。
3.根据权利要求1所述的一种靶材顶部及底部拼接式保护罩，其特征在于：所述第一抗压层(2)为C字形结构。
4.根据权利要求1所述的一种靶材顶部及底部拼接式保护罩，其特征在于：所述槽口(12)为椭圆形结构。
5.根据权利要求1所述的一种靶材顶部及底部拼接式保护罩，其特征在于：所述第一拼接罩(101)与第一卡块(4)为一体式结构。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于天津市凌云精密机电有限公司，未经天津市凌云精密机电有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201821841709.4/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：新型磁控溅射镀膜机的真空容器结构
- 下一篇：一种用于单头槽刀的涂层夹具
- 同类专利
- 专利分类
