[实用新型]一种靶材顶部及底部拼接式保护罩有效
申请号: | 201821841709.4 | 申请日: | 2018-11-09 |
公开(公告)号: | CN209081973U | 公开(公告)日: | 2019-07-09 |
发明(设计)人: | 周磊;窦沛静;丁媛 | 申请(专利权)人: | 天津市凌云精密机电有限公司 |
主分类号: | C23C14/35 | 分类号: | C23C14/35;C23C14/32;C23C14/22 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 300000 天津市河西区*** | 国省代码: | 天津;12 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 拼接 保护罩 拼接式 卡槽 本实用新型 绝缘件 抗压层 靶材 卡块 防锈层 内表壁 外表壁 | ||
本实用新型公开了一种靶材顶部及底部拼接式保护罩,包括保护罩本体,所述保护罩本体包括第一拼接罩和第二拼接罩,所述第二拼接罩位于第一拼接罩一侧,所述第一拼接罩的内表壁设置有第一抗压层,所述第一抗压层的外表壁设置有第一防锈层,所述第一拼接罩的内部上方设置有第一卡块,所述第一卡块上开设有第一凹槽,所述第一凹槽的内部一侧开设有卡槽,本实用新型设置了卡槽,卡槽开设在第一凹槽的一侧,便于将第二拼接罩更轻易的卡合在第一拼接罩一侧,使第一拼接罩与第二拼接罩之间的缝隙缩小,防止保护罩内部绝缘件损坏,解决了拼接式保护罩拼在在一起时,中间会产生较大缝隙,容易导致内部绝缘件损坏的问题。
技术领域
本实用新型属于靶材技术领域,具体涉及一种靶材顶部及底部拼接式保护罩。
背景技术
镀膜靶材是通过磁控溅射、多弧离子镀或其他类型的镀膜系统在适当工艺条件下溅射在基板上形成各种功能薄膜的溅射源,简单说的话,靶材就是高速荷能粒子轰击的目标材料,用于高能激光武器中,不同功率密度、不同输出波形、不同波长的激光与不同的靶材相互作用时,会产生不同的杀伤破坏效应,例如:蒸发磁控溅射镀膜是加热蒸发镀膜、铝膜等,更换不同的靶材(如铝、铜、不锈钢、钛、镍靶等),即可得到不同的膜系(如超硬、耐磨、防腐的合金膜等)。
但是目前市场上的靶材顶部及底部拼接式保护罩,在使用时存在一些缺陷,拼接式保护罩拼在在一起时,中间会产生较大缝隙,容易导致内部绝缘件损坏,且拼接式保护罩拿起时,容易从手中掉落。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种靶材顶部及底部拼接式保护罩,以解决上述背景技术中提出的拼接式保护罩拼在在一起时,中间会产生较大缝隙,且拼接式保护罩拿起时,容易从手中掉落的问题。
为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:一种靶材顶部及底部拼接式保护罩,包括保护罩本体,所述保护罩本体包括第一拼接罩和第二拼接罩,所述第二拼接罩位于第一拼接罩一侧,所述第一拼接罩的内表壁设置有第一抗压层,所述第一抗压层的外表壁设置有第一防锈层,所述第一拼接罩的内部上方设置有第一卡块,所述第一卡块上开设有第一凹槽,所述第一凹槽的内部一侧开设有卡槽,所述第二拼接罩的内表壁设置有第二抗压层,所述第二抗压层的内表壁设置有第二防锈层,所述第二拼接罩的内部上方设置有第二卡块,所述第二卡块上开设有第二凹槽,所述保护罩本体的上方设置有固定板,且保护罩本体的两端均开设有槽口,两个所述槽口的内部均设置有防滑纹。
优选的,所述保护罩本体和固定板焊接固定连接。
优选的,所述第一抗压层为C字形结构。
优选的,所述槽口为椭圆形结构。
优选的,所述第一拼接罩与第一卡块为一体式结构。
与现有技术相比,本实用新型的有益效果是:
(1)本实用新型设置了卡槽,卡槽开设在第一凹槽的一侧,便于将第二拼接罩更轻易的卡合在第一拼接罩一侧,使第一拼接罩与第二拼接罩之间的缝隙缩小,防止保护罩内部绝缘件损坏,解决了拼接式保护罩拼在在一起时,中间会产生较大缝隙,容易导致内部绝缘件损坏的问题。
(2)本实用新型设置了槽口和防滑纹,槽口设置在保护罩本体的前后端,且槽口的内部设置有防滑纹,可防止使用人员拿起保护罩时,会发生手滑的现象,避免保护罩会从使用人员手中滑落,解决了拼接式保护罩拿起时,容易从手中掉落的问题。
附图说明
图1为本实用新型的第一拼接罩和第二拼接罩安装图;
图2为本实用新型的主视图;
图3为本实用新型的第一拼接罩的侧视图;
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