[实用新型]一种TFT减薄蚀刻前清洗设备上料保护装置

权利要求书

1.一种TFT减薄蚀刻前清洗设备上料保护装置，其特征在于，包括：

底座；

升降机构，所述升降机构固定连接所述底座；

锁定机构，所述锁定机构包括第一固定块、第二固定块和转动柱，所述第一固定块与所述第二固定块均固定于所述升降机构，所述转动柱滑动连接所述第一固定块与所述第二固定块；

支撑架，所述支撑架固定连接所述底座；

移动机构，所述移动机构抵触所述升降机构；

放置机构，所述放置机构卡合连接所述移动机构。

2.根据权利要求1所述的TFT减薄蚀刻前清洗设备上料保护装置，其特征在于，所述升降机构包括升降板和液压缸，所述液压缸固定安装于所述底座的内部的底面，所述升降板的底面固定连接所述液压缸的顶端，所述升降板的顶面与所述底座的顶面处于同一平面。

3.根据权利要求2所述的TFT减薄蚀刻前清洗设备上料保护装置，其特征在于，所述锁定机构还包括凸块和限位块，所述第一固定块与所述第二固定块的底端均固定连接所述升降板，所述凸块固定于所述转动柱贯穿所述第二固定块的一端，所述限位块固定连接所述转动柱，所述限位块设于所述第二固定块的内部空腔中，所述凸块与所述限位块的均呈圆柱体结构，且所述凸块与所述限位块的直径均大于所述转动柱的直径。

4.根据权利要求3所述的TFT减薄蚀刻前清洗设备上料保护装置，其特征在于，所述第一固定块与所述第二固定块相对的一面均呈斜坡结构，所述第二固定块之间空腔的长度与所述限位块的厚度之差大于所述第一固定块与所述第二固定块之间的距离，所述转动柱的长度等于所述第一固定块与所述第二固定块的距离与所述第一固定块与所述第二固定块的厚度之和。

5.根据权利要求2所述的TFT减薄蚀刻前清洗设备上料保护装置，其特征在于，所述移动机构包括支撑板和轮子，所述轮子抵触所述升降板的顶面，所述转动柱贯穿所述轮子上设有的通孔，所述支撑板的底端固定连接所述轮子。

6.根据权利要求5所述的TFT减薄蚀刻前清洗设备上料保护装置，其特征在于，所述放置机构包括把手、放置架和底板，所述底板卡合连接所述支撑板，所述放置架的底端固定连接所述底板的顶端，所述把手的底端对称固定连接所述放置架的顶端，所述放置架上设有卡槽，所述底板上设有与所述放置架相对应的卡槽。

7.根据权利要求5所述的TFT减薄蚀刻前清洗设备上料保护装置，其特征在于，所述轮子的高度大于所述第一固定块的高度以及所述第二固定块的高度，所述轮子的宽度小于所述第一固定块以及所述第二固定块之间的宽度。