[实用新型]一种双室化学气相沉积炉内外室压力控制系统

权利要求书

1.一种双室化学气相沉积炉内外室压力控制系统，其特征在于：包括炉内罐(3)，炉内罐(3)的外壁和底部包围有一层炉衬(2)，炉内罐(3)的相对两侧分别设有加热器(1)，且加热器(1)被包围在炉衬(2)内，炉内罐(3)的顶部分别设有内室压力传感器(5)和抽真空管道(4)，抽真空管道(4)的一端连接在炉内罐(3)的顶部，抽真空管道(4)的另一端连在炉衬(2)的侧壁上，且抽真空管道(4)上设有内外室连通系统，炉内罐(3)的底部设有内室送气系统(13)，炉内罐(3)的底部一侧设有外室送气系统。

2.根据权利要求1所述的一种双室化学气相沉积炉内外室压力控制系统，其特征在于：所述内外室连通系统包括依次设置在抽真空管道(4)上的压力传感器(9)和气动挡板阀(7)，且压力传感器(9)靠近炉衬(2)设置，压力传感器(9)和气动挡板阀(7)之间设有单向阀(8)。

3.根据权利要求1所述的一种双室化学气相沉积炉内外室压力控制系统，其特征在于：所述外室送气系统包括送气管道(14)，送气管道(14)上依次设有质量流量控制器(10)、针阀(11)和压力表(12)，压力表(12)靠近炉衬(2)设置。