[实用新型]一种双室化学气相沉积炉内外室压力控制系统

说明书

本实用新型公开了一种双室化学气相沉积炉内外室压力控制系统，包括炉内罐，炉内罐的外壁和底部包围有一层炉衬，炉内罐的相对两侧分别设有加热器，且加热器被包围在炉衬内，炉内罐的顶部分别设有内室压力传感器和抽真空管道，抽真空管道的一端连接在炉内罐的顶部，抽真空管道的另一端连在炉衬的侧壁上，且抽真空管道上设有内外室连通系统，炉内罐的底部设有内室送气系统，炉内罐的底部一侧设有外室送气系统。解决了目前双室化学气相沉积炉存在的内外室之间密封不严、内室污染气体逸入外室中，影响加热器与路晨保温材料，造成能耗损失的问题。

技术领域

本实用新型属于真空热处理炭材料技术领域，涉及一种双室化学气相沉积炉内外室压力控制系统。

背景技术

双室化学气相沉积炉的双室由加热室(简称外室)与沉积室(简称内室)组成。

化学气相沉积工艺过程中，内室中通大量的有机气体(丙烯、丙烷或天然气)，这有机物热解和气化会产生的大分子芳香族碳氢有机污染物,含有焦油、炭墨灰尘和其它一些杂质。双室化学气相沉积炉由于炉内罐为石墨或C/C材料，受材料密度、尺寸的限制，内外室之间密封做不到完全隔绝，内室不断的充反应气，而外室不充气，所以内室的气压就有可能大于外室的压力，这样部分的污染气体就会逸入外室中，污染了加热器与炉衬保温材料，造成加热器烧损或短路，炉衬保温材料的保温性能急剧下降，整个炉子的热场会发生很大的变化，炉温均匀性变差，造成很大的能耗损失，影响工艺的正常进行，甚至导致加热器与炉衬报废。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种双室化学气相沉积炉内外室压力控制系统，解决了目前双室化学气相沉积炉存在的内外室之间密封不严、内室污染气体逸入外室中，影响加热器与路晨保温材料，造成能耗损失的问题。

本实用新型所采用的技术方案是，一种双室化学气相沉积炉内外室压力控制系统，包括炉内罐，炉内罐的外壁和底部包围有一层炉衬，炉内罐的相对两侧分别设有加热器，且加热器被包围在炉衬内，炉内罐的顶部分别设有内室压力传感器和抽真空管道，抽真空管道的一端连接在炉内罐的顶部，抽真空管道的另一端连在炉衬的侧壁上，且抽真空管道上设有内外室连通系统，炉内罐的底部设有内室送气系统，炉内罐的底部一侧设有外室送气系统。

本实用新型的特点还在于，

内外室连通系统包括依次设置在抽真空管道上的压力传感器和气动挡板阀，且压力传感器靠近炉衬设置，压力传感器和气动挡板阀之间设有单向阀。

外室送气系统包括送气管道，送气管道上依次设有质量流量控制器、针阀和压力表，压力表靠近炉衬设置。

本实用新型的有益效果是，本实用新型在内外室之间设置双室化学气相沉积炉内外室压力控制系统，实现了内外室之间的压差平衡，保证外室压力始终大于内室压力，避免了内室的污染气体逸入外室中，与未装此系统之前比较，可使加热器与炉衬使用寿命延长10倍以上，节能降耗约30-50％，大大降低了设备维护成本，提高了工艺参数的控制精度。

附图说明

图1是本实用新型一种双室化学气相沉积炉内外室压力控制系统的结构示意图；

图2是本实用新型一种双室化学气相沉积炉内外室压力控制系统中内外室连通系统的结构示意图。

图中，1.加热器，2.炉衬，3.炉内罐，4.抽真空管道，5.内室压力传感器，6.真空泵组，7.气动挡板阀，8.单向阀，9.外室压力传感器，10.质量流量控制器，11.针阀，12.压力表，13.内室送气系统，14. 送气管道。

具体实施方式

下面结合附图和具体实施方式对本实用新型进行详细说明。