[实用新型]校准板固定结构有效
申请号: | 201821860915.X | 申请日: | 2018-11-13 |
公开(公告)号: | CN208861960U | 公开(公告)日: | 2019-05-14 |
发明(设计)人: | 孔维东;陈演沧;陆爱清 | 申请(专利权)人: | 紫光宏茂微电子(上海)有限公司 |
主分类号: | H01L21/68 | 分类号: | H01L21/68 |
代理公司: | 上海市嘉华律师事务所 31285 | 代理人: | 黄琮;傅云 |
地址: | 201700 上海市*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 校准板 热板 活动挡块 固定结构 弹簧 抵持 本实用新型 固定挡块 安装块 校准 换能 弹簧作用 基座连接 基座水平 侧面 凸出的 铰接 在机 移动 保证 | ||
1.一种校准板固定结构,其特征在于,包括:热板基座、校准板、活动挡块和弹簧;
所述热板基座用于水平设置在机台上,所述校准板置于所述热板基座的上侧面上;
所述校准板的上侧面与下侧面相互平行;
所述热板基座的上侧面的一侧设有凸出的固定挡块,所述热板基座的上侧面的另一侧设有安装块;
所述活动挡块铰接于所述安装块上;
所述弹簧的一端与所述热板基座连接,所述弹簧的另一端与所述活动挡块连接,所述弹簧推动所述活动挡块,使所述活动挡块与所述校准板的一侧面抵持,且使所述校准板的另一侧面与所述固定挡块抵持。
2.根据权利要求1所述的校准板固定结构,其特征在于,所述热板基座的上侧面上设有两根定位柱,所述校准板上设有两个定位槽;
所述定位槽的深度大于所述定位柱凸出所述热板基座的表面的高度,所述定位槽的宽度与所述定位柱的直径适配,所述定位槽的长度大于所述定位柱的直径;
两根所述定位柱分别嵌入两个所述定位槽内。
3.根据权利要求2所述的校准板固定结构,其特征在于,两个所述定位槽的延伸方向位于同一直线。
4.根据权利要求2所述的校准板固定结构,其特征在于,所述定位槽设有与所述定位柱适配的圆弧形抵持面,且所述定位槽贯穿延伸至所述校准板的侧面并形成开口。
5.根据权利要求1所述的校准板固定结构,其特征在于,所述固定挡块包括:第一竖直部和第一倾斜部;
所述第一竖直部设置在所述热板基座的上侧面上,所述第一倾斜部与所述第一竖直部连接并位于所述第一竖直部的上方,所述第一倾斜部与所述第一竖直部的夹角为钝角;
所述校准板的一侧设有第一倾斜面和第一垂直面;
所述第一倾斜面用于与所述第一倾斜部抵持,所述第一垂直面用于与所述第一竖直部抵持。
6.根据权利要求5所述的校准板固定结构,其特征在于,所述活动挡块包括:第二竖直部和第二倾斜部;
所述第二倾斜部与所述第二竖直部连接并位于所述第二竖直部的上方,所述第二倾斜部与所述第二竖直部的夹角为钝角;
所述校准板的另一侧设有第二倾斜面和第二垂直面;
所述第二倾斜部用于与所述第二倾斜面抵持。
7.根据权利要求6所述的校准板固定结构,其特征在于,所述第一倾斜面与所述第二倾斜面为对称结构;
所述第一垂直面与所述第二垂直面为对称结构。
8.根据权利要求1所述的校准板固定结构,其特征在于,还包括:吊件;
所述校准板上设有第一螺纹孔,所述吊件设置在所述第一螺纹孔内。
9.根据权利要求1所述的校准板固定结构,其特征在于,还包括:把手;
所述活动挡块设有第二螺纹孔,所述把手设置在所述第二螺纹孔内。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造