[实用新型]半导体晶圆阀体排料装置有效

申请号：	201821863641.X	申请日：	2018-11-13
公开（公告）号：	CN208806240U	公开（公告）日：	2019-04-30
发明（设计）人：	童华宁;陈中凯	申请（专利权）人：	长兴云腾新能源科技有限公司
主分类号：	H01L21/677	分类号：	H01L21/677
代理公司：	北京方圆嘉禾知识产权代理有限公司 11385	代理人：	董芙蓉
地址：	313000 浙江省湖州市长***	国省代码：	浙江;33
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摘要：
搜索关键词：	排料板过渡导向接头导向槽半导体晶圆侧向挡板阀体排料装置排料区限位槽振动盘下凹本实用新型振动盘出口活动安装倾斜安装出错率震动器位杆
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【说明书】：

本实用新型提供半导体晶圆阀体排料装置，它包括有振动盘，振动盘出口处倾斜安装有过渡导向板，过渡导向板较高一端位于振动盘出口下方，过渡导向板较低一端下方安装有排料板，排料板底部安装有震动器，排料板呈长方形，其长度方向两侧活动安装有侧向挡板，两块侧向挡板之间形成排料区，排料区的排料板上设有下凹的接头限位槽，过渡导向板一端的排料板其中一侧设有限位销，排料板另一侧设有下凹的接头导向槽，接头导向槽其中一端与接头限位槽连接，接头导向槽上方安装有限位杆。采用本方案后的结构合理、使用效果好、出错率低。

技术领域

本实用新型涉及半导体生产设备技术领域，尤其是指半导体晶圆阀体排料装置。

背景技术

现有排料板是直接安装在振动盘出口处，振动盘在对现有三通阀体放料时，没有进入接头限位槽的中间端需要操作人员进行纠正，这种方法需要操作人员时时守在设备旁。

发明内容

本实用新型的目的在于克服现有技术的不足，提供一种结构合理、使用效果好、出错率低的半导体晶圆阀体排料装置。

为实现上述目的，本实用新型所提供的技术方案为：半导体晶圆阀体排料装置，它包括有振动盘，振动盘出口处倾斜安装有过渡导向板，过渡导向板较高一端位于振动盘出口下方，过渡导向板较低一端下方安装有排料板，排料板底部安装有震动器，排料板呈长方形，其长度方向两侧活动安装有侧向挡板，两块侧向挡板之间形成排料区，排料区的排料板上设有下凹的接头限位槽，过渡导向板一端的排料板其中一侧设有限位销，排料板另一侧设有下凹的接头导向槽，接头导向槽其中一端与接头限位槽连接，接头导向槽上方安装有限位杆。

所述的接头导向槽呈C形或弧形，接头导向槽的中心线与限位销中心线位于同一直线上，接头导向槽由浅至深分布在排料板上，其较深一端与接头限位槽连接，较浅一端与排料板表面齐平。

所述的限位杆两端通过相应的调节杆活动安装在过渡导向板输出端上方。

所述的侧向挡板底部外侧设有调节板，调节板上设有调节槽，调节槽通过调节螺栓活动安装在排料板上。

本实用新型在采用上述方案后，半导体晶圆制成的三通阀体通过振动盘振动，通过过渡导向板导向落至排料板上，排料板在震动器的震动下，通过接头导向槽与限位销的配合使三通阀体依次排列在排料区内输出，采用本方案后的结构合理、使用效果好、出错率低。

附图说明

图1为本实用新型的整体结构示意图。

图2为本实用新型的限位杆结构示意图。

具体实施方式

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