[实用新型]一种晶圆片湿式切割用划片机

权利要求书

1.一种晶圆片湿式切割用划片机，包括划片机机体(1)，其特征在于：所述划片机机体(1)的顶部固定安装有第一滑轨(2)，所述第一滑轨(2)的顶部活动安装有第二滑轨(3)，所述第二滑轨(3)的顶部活动安装有第一滑块(4)，所述第一滑块(4)的顶部固定安装有工作台(5)，所述工作台(5)的内部设置有漏水孔(6)，所述第一滑块(4)的底部固定安装有限位块(7)，所述第二滑轨(3)的内部固定安装有电机(8)，所述电机(8)的输出轴固定安装有齿轮(9)，所述齿轮(9)与限位块(7)啮合，所述划片机机体(1)的顶部固定安装有支撑架(10)，所述支撑架(10)的底部固定安装有第三滑轨(11)，所述第三滑轨(11)的底部活动安装有第二滑块(12)，所述第二滑块(12)的底部固定安装有超高压水射流发生器(13)，所述超高压水射流发生器(13)的底部固定安装有水喷头(14)，所述划片机机体(1)的内壁左侧固定安装有液压缸(15)，所述液压缸(15)的左侧固定安装有固定杆(16)，所述固定杆(16)与第二滑块(12)固定安装，所述划片机机体(1)的底部固定安装有底座(17)，所述划片机机体(1)的底部固定安装有万向轮(18)。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆片湿式切割用划片机，其特征在于：所述限位块(7)延伸至第二滑轨(3)的内部，限位块(7)的底部开设有齿轮槽，齿轮槽与齿轮(9)相适配。

3.根据权利要求1所述的一种晶圆片湿式切割用划片机，其特征在于：所述第二滑轨(3)的左右两侧开设有滑槽，滑槽与第一滑块(4)相适配。

4.根据权利要求1所述的一种晶圆片湿式切割用划片机，其特征在于：所述底座(17)的数量为四个，四个底座(17)均匀分布于划片机机体(1)的底部四角，底座(17)的外部螺纹连接有固定螺母。

5.根据权利要求1所述的一种晶圆片湿式切割用划片机，其特征在于：所述万向轮(18)的数量为四个，四个万向轮(18)均匀分布于划片机机体(1)的底部四角。

6.根据权利要求1所述的一种晶圆片湿式切割用划片机，其特征在于：所述漏水孔(6)的数量为两个，工作台(5)的顶部开设有安装孔，安装孔位于漏水孔(6)的上方。