[实用新型]一种晶圆片湿式切割用划片机

说明书

本实用新型涉及晶圆片划片技术领域，且公开了一种晶圆片湿式切割用划片机，包括划片机机体，所述划片机机体的顶部固定安装有第一滑轨，所述第一滑轨的顶部活动安装有第二滑轨，所述第二滑轨的顶部活动安装有第一滑块，所述第一滑块的顶部固定安装有工作台。该晶圆片湿式切割用划片机，通过液压缸的伸缩运动，可以带动固定杆运动，从而带动第二滑块左右运动，进而带动超高压水射流发生器左右运动，完成划片动作，通过超高压水射流发生器，可以使得水高速通过水喷头排出，形成水刀，对晶圆片进行划片工作，采用这种湿式切割的方式划片，精度更高，并且无污染，同时不会产生高温，有一定的保护作用。

技术领域

本实用新型涉及晶圆片划片技术领域，具体为一种晶圆片湿式切割用划片机。

背景技术

晶圆片是先将二氧化矽经过纯化，融解，蒸馏之后，制成矽晶棒，晶圆厂再拿这些矽晶棒研磨，抛光和切片成为晶圆母片，由于圆形的晶圆片本身没有方向性，不适合电子的传输，因此这些晶圆还必须切出一个边，当做类似三角形的底，所以晶圆长得并不像家里的DVD是标准的圆，而是被切掉一个边，成为有底的圆。

现有的晶圆片在进行划片时大多使用激光切划片，激光划片容易产生高温，易对晶圆片产生一定的损坏，同时现有的划片机移动大多不方便，故而提出了一种晶圆片湿式切割用划片机。

实用新型内容

(一)解决的技术问题

针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种晶圆片湿式切割用划片机，具备切割效果好等优点，解决了现有的晶圆片在进行划片时大多使用激光切划片，激光划片容易产生高温，易对晶圆片产生一定的损坏，同时现有的划片机移动大多不方便的问题。

(二)技术方案

为实现上述切割效果好的目的，本实用新型提供如下技术方案：一种晶圆片湿式切割用划片机，包括划片机机体，所述划片机机体的顶部固定安装有第一滑轨，所述第一滑轨的顶部活动安装有第二滑轨，所述第二滑轨的顶部活动安装有第一滑块，所述第一滑块的顶部固定安装有工作台，所述工作台的内部设置有漏水孔，所述第一滑块的底部固定安装有限位块，所述第二滑轨的内部固定安装有电机，所述电机的输出轴固定安装有齿轮，所述齿轮与限位块啮合，所述划片机机体的顶部固定安装有支撑架，所述支撑架的底部固定安装有第三滑轨，所述第三滑轨的底部活动安装有第二滑块，所述第二滑块的底部固定安装有超高压水射流发生器，所述超高压水射流发生器的底部固定安装有水喷头，所述划片机机体的内壁左侧固定安装有液压缸，所述液压缸的左侧固定安装有固定杆，所述固定杆与第二滑块固定安装，所述划片机机体的底部固定安装有底座，所述划片机机体的底部固定安装有万向轮。

优选的，所述限位块延伸至第二滑轨的内部，限位块的底部开设有齿轮槽，齿轮槽与齿轮相适配。

优选的，所述第二滑轨的左右两侧开设有滑槽，滑槽与第一滑块相适配。

优选的，所述底座的数量为四个，四个底座均匀分布于划片机机体的底部四角，底座的外部螺纹连接有固定螺母。

优选的，所述万向轮的数量为四个，四个万向轮均匀分布于划片机机体的底部四角。

优选的，所述漏水孔的数量为两个，工作台的顶部开设有安装孔，安装孔位于漏水孔的上方。

(三)有益效果

与现有技术相比，本实用新型提供了一种晶圆片湿式切割用划片机，具备以下有益效果：