[实用新型]一种用于PECVD石墨舟的自动搬舟装置有效
申请号: | 201821868697.4 | 申请日: | 2018-11-13 |
公开(公告)号: | CN208938950U | 公开(公告)日: | 2019-06-04 |
发明(设计)人: | 王镇 | 申请(专利权)人: | 浙江艾能聚光伏科技股份有限公司 |
主分类号: | H01L21/677 | 分类号: | H01L21/677;H01L31/18 |
代理公司: | 嘉兴永航专利代理事务所(普通合伙) 33265 | 代理人: | 俞培锋 |
地址: | 314300 浙江省嘉*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 石墨舟 抓取 本实用新型 工作稳定性 机械手 龙门架 锁定 上下料机 右定位板 转动电机 左定位板 控制器 锁定杆 提示灯 掉落 气缸 推车 底座 搬运 倾倒 失败 | ||
本实用新型提供了一种用于PECVD石墨舟的自动搬舟装置。它解决了现有上下料机的结构过于简单,机械手在抓取石墨舟过程中,容易出现异常的压舟、撞舟等抓取失败现象,导致石墨舟倾倒、掉落、撞碎等异常损失,工作稳定性差等技术问题。本用于PECVD石墨舟的自动搬舟装置,包括机架,机架上固定有龙门架,龙门架上设置有用于搬运石墨舟的机械手,机架上还具有能将推车定位住的锁定机构,锁定机构包括底座、锁定杆、转动电机、气缸、左定位板、右定位板、提示灯和控制器。本实用新型具有工作稳定性好的优点。
技术领域
本实用新型属于电池片技术领域,涉及一种自动搬舟装置,特别是一种用于PECVD石墨舟的自动搬舟装置。
背景技术
太阳能电池片加工过程需要利用石墨舟作为载体容器,将电池片承载在石墨舟内送进PECVD设备进行加工,该石墨舟载体需要利用专用小推车频繁在PECVD设备和全自动插卸片机之间互相周转。
经检索,如中国专利文献公开了一种全自动管式PECVD上下料机【申请号:201720255482.4;公开号:CN 206532790U】。这种全自动管式PECVD上下料机,其特征在于:包括自动换篮装置、硅片输送装置、取/插片定位装置、缓冲升降机构、自动取/插片机器人、石墨舟载具滑台装置、石墨舟上下搬移装置、石墨舟运送车以及机架,所述自动换篮装置包括上层输送机构、下层输送机构以及上下升降机械手,所述上层输送机构与硅片输送装置水平衔接,所述缓冲升降机构设置于硅片输送装置的末端,所述取/插片定位装置位于硅片输送装置的中部,所述自动取/插片机器人位于缓冲升降机构与石墨舟载具滑台装置之间,所述石墨舟上下搬移装置位于石墨舟载具滑台装置的上部且与墨舟载具滑台装置运动方向垂直,所述石墨舟运送车位于石墨舟上下搬移装置的前端。
该专利中公开的上下料机虽然自动化程度高,但是,该上下料机的结构过于简单,机械手在抓取石墨舟过程中,容易出现异常的压舟、撞舟等抓取失败现象,导致石墨舟倾倒、掉落、撞碎等异常损失,工作稳定性差,因此,设计出一种用于PECVD石墨舟的自动搬舟装置是很有必要的。
发明内容
本实用新型的目的是针对现有的技术存在上述问题,提出了一种用于PECVD石墨舟的自动搬舟装置,该自动搬舟装置具有工作稳定性好的特点。
本实用新型的目的可通过下列技术方案来实现:一种用于PECVD石墨舟的自动搬舟装置,包括机架,其特征在于,所述机架上固定有龙门架,龙门架上设置有用于搬运石墨舟的机械手,机架上还具有能将推车定位住的锁定机构,锁定机构包括底座、锁定杆、转动电机、气缸、左定位板、右定位板、提示灯和控制器,底座固定在机架下部,气缸固定在底座上,气缸的活塞杆水平设置,气缸的活塞杆端部和转动电机相连,转动电机的输出轴水平设置,转动电机的输出轴端部和锁定杆相连,锁定杆能与推车的车架相抵靠,左定位板和右定位板分别固定在机架上部,左定位板上固定有行程开关一,左定位板上还滑动设置有左活动杆,且左活动杆呈水平布置,左活动杆一端固定有检测块一,且检测块一能与推车的承载板一端相接触,左活动杆另一端和触碰块一相连,触碰块一能与行程开关一相接触,左活动杆上还套设有复位弹簧一,复位弹簧一的一端和检测块一相连,复位弹簧一的另一端和左定位板相连,右定位板上固定有行程开关二,右定位板上还滑动设置有右活动杆,且右活动杆呈水平布置,右活动杆一端固定有检测块二,且检测块二能与推车的承载板另一端相接触,右活动杆另一端和触碰块二相连,触碰块二能与行程开关二相接触,右活动杆上还套设有复位弹簧二,复位弹簧二的一端和检测块二相连,复位弹簧二的另一端和右定位板相连,提示灯和控制器均固定在机架上,行程开关一、行程开关二和提示灯均通过线路与该控制器相连。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造