[实用新型]一种化学机械抛光设备的分级过滤装置

权利要求书

1.一种化学机械抛光设备的分级过滤装置，包括过滤装置箱（1），其特征在于：所述过滤装置箱（1）的底部固定安装有装置防滑脚垫（2），所述过滤装置箱（1）内侧的下端固定安装有过滤罐底座（9），所述过滤罐底座（9）的上端固定安装有抛光液过滤罐（3），所述抛光液过滤罐（3）的上端可拆卸安装有罐体密封盖（5），所述罐体密封盖（5）上固定安装有进水口（4），所述抛光液过滤罐（3）外侧的左上端固定安装有试剂加注口（6），所述抛光液过滤罐（3）内侧开设有过滤腔室（7），所述过滤腔室（7）和抛光液过滤罐（3）之间固定安装有防腐蚀内衬（8），所述过滤腔室（7）的上端活动安装有集水板（17），所述集水板（17）中心位置预留有出水孔（18），所述过滤腔室（7）的下端活动安装有分级过滤板（19），所述分级过滤板（19）上固定安装有过滤网（20），所述过滤网（20）上预留有过滤网孔（21），所述抛光液过滤罐（3）的右侧下方活动安装有出水连接管（10），所述出水连接管（10）上固定安装有连接接头（11），所述出水连接管（10）活动安装在水箱接头（12）上，所述水箱接头（12）固定安装在抛光液转运水箱（13）的左侧中端，所述抛光液转运水箱（13）的外侧固定安装有加压水泵（14），所述抛光液转运水箱（13）的上端固定安装有搅拌电机（15），所述搅拌电机（15）的下端活动安装有搅拌转轴（24），所述搅拌转轴（24）上活动安装有搅拌叶轮（25），所述抛光液转运水箱（13）的右侧上端活动安装有抛光液转运水管（16），所述过滤装置箱（1）的左侧下端开设有排水口（22），所述过滤装置箱（1）的外侧固定安装有罐体观察窗（23）。

2.根据权利要求1所述的一种化学机械抛光设备的分级过滤装置，其特征在于：所述过滤装置箱（1）底部设置有六组装置防滑脚垫（2），且装置防滑脚垫（2）分别关于抛光液过滤罐（3）和抛光液转运水箱（13）对称设置有两组。

3.根据权利要求1所述的一种化学机械抛光设备的分级过滤装置，其特征在于：所述抛光液过滤罐（3）在过滤装置箱（1）内对称设置有两个，且抛光液过滤罐（3）上连接有抛光液转运水管（16）的罐体下端连接有排水口（22）。

4.根据权利要求1所述的一种化学机械抛光设备的分级过滤装置，其特征在于：所述集水板（17）为L型设计，且集水板（17）上的出水孔（18）与进水口（4）的圆心在同一竖直位置。

5.根据权利要求1所述的一种化学机械抛光设备的分级过滤装置，其特征在于：所述过滤网（20）在分级过滤板（19）上等间距安装有三个，且过滤网（20）上的过滤网孔（21）从上至下依次减小。

6.根据权利要求1所述的一种化学机械抛光设备的分级过滤装置，其特征在于：所述过滤装置箱（1）上对称设置有两个和抛光液过滤罐（3）相互一一对应的罐体观察窗（23），且罐体观察窗（23）的长度大于集水板（17）到分级过滤板（19）的长度。