[实用新型]一种化学机械抛光设备的分级过滤装置

说明书

本实用新型公开了一种化学机械抛光设备的分级过滤装置，包括过滤装置箱，所述过滤装置箱的底部固定安装有装置防滑脚垫，所述分级过滤板上固定安装有过滤网，所述过滤网上预留有过滤网孔，所述抛光液过滤罐的右侧下方活动安装有出水连接管，所述搅拌转轴上活动安装有搅拌叶轮，所述抛光液转运水箱的右侧上端活动安装有抛光液转运水管，所述过滤装置箱的左侧下端开设有排水口，所述过滤装置箱的外侧固定安装有罐体观察窗。该化学机械抛光设备的分级过滤装置，能够根据所加工零件的不同对罐体内的化学成分进行调整，将溶于抛光液内的化学物质分离出来，还能通过多层的过滤网，保证抛光液的使用效果，方便抛光液的反复循环利用和对抛光液的更换。

技术领域

本实用新型涉及化学机械抛光设备技术领域，具体为一种化学机械抛光设备的分级过滤装置。

背景技术

化学机械研磨技术综合了化学研磨和机械研磨的优势，吸收了两者各自的优点，可以在保证材料去除效率的同时，获得较完美的表面，得到的平整度比单纯使用这两种研磨要高出1-2个数量级，并且可以实现纳米级到原子级的表面粗糙度，化学机械抛光技术是化学作用和机械作用相结合的技术，其过程相当复杂，影响因素很多，是一种通过化学反应，生成一层相对容易去除的软质层，然后在抛光液中的磨料和抛光垫的机械作用下去除软质层，使工件表面重新裸露出来，然后再进行化学反应，这样在化学作用过程和机械作用过程的交替进行中完成工件表面抛光。

然而，现有市场上的化学机械抛光设备是通过直接在设备的清洗槽内加入抛光液，直接对零件进行抛光，抛光液反复的使用，会让加工的效率变慢，并且被除去的软质层遗留在清洗槽的内部，清洗起来十分的不方便，也不方便对抛光液的更换。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种化学机械抛光设备的分级过滤装置，以解决上述背景技术中提出市场上的化学机械抛光设备是通过直接在设备的清洗槽内加入抛光液，直接对零件进行抛光，抛光液反复的使用，会让加工的效率变慢，并且被除去的软质层遗留在清洗槽的内部，清洗起来十分的不方便，也不方便对抛光液的更换的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种化学机械抛光设备的分级过滤装置，包括过滤装置箱，所述过滤装置箱的底部固定安装有装置防滑脚垫，所述过滤装置箱内侧的下端固定安装有过滤罐底座，所述过滤罐底座的上端固定安装有抛光液过滤罐，所述抛光液过滤罐的上端可拆卸安装有罐体密封盖，所述罐体密封盖上固定安装有进水口，所述抛光液过滤罐外侧的左上端固定安装有试剂加注口，所述抛光液过滤罐内侧开设有过滤腔室，所述过滤腔室和抛光液过滤罐之间固定安装有防腐蚀内衬，所述过滤腔室的上端活动安装有集水板，所述集水板中心位置预留有出水孔，所述过滤腔室的下端活动安装有分级过滤板，所述分级过滤板上固定安装有过滤网，所述过滤网上预留有过滤网孔，所述抛光液过滤罐的右侧下方活动安装有出水连接管，所述出水连接管上固定安装有连接接头，所述出水连接管活动安装在水箱接头上，所述水箱接头固定安装在抛光液转运水箱的左侧中端，所述抛光液转运水箱的外侧固定安装有加压水泵，所述抛光液转运水箱的上端固定安装有搅拌电机，所述搅拌电机的下端活动安装有搅拌转轴，所述搅拌转轴上活动安装有搅拌叶轮，所述抛光液转运水箱的右侧上端活动安装有抛光液转运水管，所述过滤装置箱的左侧下端开设有排水口，所述过滤装置箱的外侧固定安装有罐体观察窗。

优选的，所述过滤装置箱底部设置有六组装置防滑脚垫，且装置防滑脚垫分别关于抛光液过滤罐和抛光液转运水箱对称设置有两组。

优选的，所述抛光液过滤罐在过滤装置箱内对称设置有两个，且抛光液过滤罐上连接有抛光液转运水管的罐体下端连接有排水口。

优选的，所述集水板为L型设计，且集水板上的出水孔与进水口的圆心在同一竖直位置。

优选的，所述过滤网在分级过滤板上等间距安装有三个，且过滤网上的过滤网孔从上至下依次减小。

优选的，所述过滤装置箱上对称设置有两个和抛光液过滤罐相互一一对应的罐体观察窗，且罐体观察窗的长度大于集水板到分级过滤板的长度。