[实用新型]用于测量物体变形的装置

权利要求书

1.一种用于测量物体变形的装置(1)，其特征在于，所述用于测量物体变形的装置(1)包括：

设置有用于测量距离的刻度的基臂(3)；

设置在所述基臂(3)上并且能够发射可见光束(L)的光源(5)；

设置在所述光源(5)前侧的光调节器(7)，所述光调节器(7)能够调节所述光源(5)发射的可见光束(L)的大小和/或强度；以及

安装在所述基臂(3)上并且能够相对于所述基臂(3)移动的移动臂(11),所述移动臂(11)具有相对于所述基臂(3)垂直地延伸以便能够与所述基臂(3)上的刻度对齐的至少一个平坦面。

2.根据权利要求1所述的用于测量物体变形的装置(1)，其特征在于，在所述基臂(3)中设置有定心轴承(8)，所述光源(5)和/或所述光调节器(7)被安装在定心轴承(8)的内圈上。

3.根据权利要求1所述的用于测量物体变形的装置(1)，其特征在于，所述光源(5)是激光发射器。

4.根据权利要求1所述的用于测量物体变形的装置(1)，其特征在于，在所述光调节器(7)的前方设置用于汇聚光束的汇聚透镜(9)。

5.根据权利要求1所述的用于测量物体变形的装置(1)，其特征在于，与所述光源(5)的中心相对应的位置被设置为零刻度位置。

6.根据权利要求1所述的用于测量物体变形的装置(1)，其特征在于，所述光调节器(7)还被设置成能够将所述光源(5)发射的可见光束(L)调节成与所述基臂(3)垂直的准直光束。

7.根据权利要求1所述的用于测量物体变形的装置(1)，其特征在于，所述至少一个平坦面包括相互平行并且相反地形成在所述移动臂(11)上的两个平坦面(11a，11b)。

8.根据权利要求1所述的用于测量物体变形的装置(1)，其特征在于，所述移动臂(11)上还设置有吸附装置(13)。

9.根据权利要求8所述的用于测量物体变形的装置(1)，其特征在于，所述吸附装置(13)是设置在所述移动臂(11)中的磁铁。

10.根据权利要求1所述的用于测量物体变形的装置(1)，其特征在于，所述用于测量物体变形的装置(1)还包括将所述移动臂(11)锁定在所述基臂(3)上的锁定机构。

11.根据权利要求1所述的用于测量物体变形的装置(1)，其特征在于，所述物体是芯片测试单元的测试头支撑导轨。