[实用新型]用于测量物体变形的装置

说明书

本实用新型提一种用于测量物体变形的装置，它包括：设置有用于测量距离的刻度的基臂；设置在所述基臂上并且能够发射可见光束的光源；设置在所述光源前侧的光调节器，所述光调节器能够调节所述光源发射的可见光束的大小和/或强度；以及安装在所述基臂上并且能够相对于所述基臂移动的移动臂,所述移动臂具有相对于所述基臂垂直地延伸以便能够与所述基臂上的刻度对齐的至少一个平坦面。根据本实用新型的用于测量物体变形的装置使得测量物体是否变形变得简单易行，与物体相关的设备也无需中断作业，确保与物体相关的设备具有较高的作业效率。

技术领域

本实用新型涉及判断物体是否变形，尤其涉及一种用于测量物体变形的装置。

背景技术

在实践中经常需要确定物体是否变形。例如，在半导体工业中，需要使用芯片测试单元对芯片进行测试，芯片测试单元的测试头由测试头支撑导轨支撑。如果支撑导轨发生变形，测试头末端的连接接头有可能在测试头安装过程中与测试头支撑导轨的端部发生碰撞，导致价格昂贵的测试头受到损坏。为了减少或避免由于测试头的损坏导致的损失，需要经常对芯片测试单元的测试头支撑导轨是否变形进行测量。

现有的用于测量物体变形的方法通常是在芯片测试单元停机的情况下，利用尺子来测量芯片测试单元上的基准面与支撑导轨之间的距离，将测量的距离与设计距离进行比较来判断支撑导轨是否变形。这种测试过程需要芯片测试单元停机相当长的时间，芯片测试作业被迫暂时中断，导致生产效率下降。

因此，需要对现有的用于测量物体变形的装置进行改进。

实用新型内容

本实用新型的目的就是要提出一种改进的用于测量物体变形的装置，这种用于测量物体变形的装置可以在保持与物体相关的设备正常作业的情况下测量物体是否变形，从而使得测量物体是否变形变得简单易行，与物体相关的设备也无需中断作业，确保较高的作业效率。

根据本实用新型，提供一种用于测量物体变形的装置，包括：

设置有用于测量距离的刻度的基臂；

设置在所述基臂上并且能够发射可见光束的光源；

设置在所述光源前侧的光调节器，所述光调节器能够调节所述光源发射的可见光束的大小和/或强度；以及

安装在所述基臂上并且能够相对于所述基臂移动的移动臂,所述移动臂具有相对于所述基臂垂直地延伸以便能够与所述基臂上的刻度对齐的至少一个平坦面。

优选地，在所述基臂中设置有定心轴承，所述光源和/或所述光调节器被安装在定心轴承的内圈上。

优选地，所述光源是激光发射器。

优选地，在所述光调节器的前方设置用于汇聚光束的汇聚透镜。

优选地，与所述光源的中心相对应的位置被设置为零刻度位置。

优选地，所述光调节器还被设置成能够将所述光源发射的可见光束调节成与所述基臂垂直的准直光束。

优选地，所述至少一个平坦面包括相互平行并且相反地形成在所述移动臂上的两个平坦面。

优选地，所述移动臂上还设置有吸附装置。

优选地，所述吸附装置是设置在所述移动臂中的磁铁。

优选地，所述用于测量物体变形的装置还包括将所述移动臂锁定在所述基臂上的锁定机构。

优选地，所述物体是芯片测试单元的测试头支撑导轨。