[实用新型]一种扩散用的喷淋管及扩散炉

说明书

本实用新型公开了一种扩散用的喷淋管及扩散炉，属于太阳能电池制备技术领域。该扩散用的喷淋管一端封闭，另一端为进气端，与进气装置连通，所述喷淋管包括管体，所述管体沿气体流动方向设有至少两个喷淋段，每个所述喷淋段设置有一个或至少两个喷淋孔总成，每个所述喷淋孔总成包括一个喷淋孔或位于同一截面的至少两个喷淋孔。该扩散炉包括上述喷淋管。本实用新型提供的喷淋管通过设置多组喷淋段、改变不同喷淋段上的喷淋孔数目的方式实现炉内气体的均匀扩散，保证了硅片方阻的均匀性，提高了太阳能电池片的质量。

技术领域

本实用新型涉及太阳能电池制备技术领域，尤其涉及一种扩散用的喷淋管及扩散炉。

背景技术

太阳能电池片的制备过程中，在扩散炉中对硅片进行高温磷源掺杂是提高其方块电阻的有效方法。硅片的高温掺杂通常是将喷淋管由炉尾处插入扩散炉，再向喷淋管中通入携带磷源的氮气，利用喷淋管上的喷淋孔进行磷源的扩散喷淋，硅片吸收磷源形成扩散层电阻。

常规的喷淋管结构简单，仅仅在喷淋管上均匀设置若干喷淋孔，由于气体在喷淋管内是由炉尾向炉口扩散的，气流向炉口流动的过程中流量逐渐减少，造成靠近炉口处的硅片吸收的磷源量减少，而靠近炉尾处的硅片吸收的磷源丰富，从而造成了炉管内不同区域硅片的方块电阻不同，降低了太阳能电池片的质量。

另外，喷淋管一般架设在炉内壁的挂钩上，由于扩散炉的炉内温度高，喷淋管的尺寸较小，工作人员只能根据个人经验在炉外进行摸索安装，效率低下，且很有可能造成喷淋管与炉壁发生硬性接触，损坏炉体和喷淋管，增加了生产成本。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种扩散用的喷淋管，能够使炉管内气体流量分布更加均匀，有效改善不同区域硅片方块电阻的均匀性，提高硅片的生产质量。

为实现上述目的，提供以下技术方案：

一种扩散用的喷淋管，所述喷淋管一端为封闭端，另一端为进气端并与进气装置连通，所述喷淋管包括管体，所述管体沿气体流动方向设有至少两个喷淋段，每个所述喷淋段设置有一个或至少两个喷淋孔总成，每个所述喷淋孔总成包括一个喷淋孔或位于同一截面的至少两个喷淋孔；

沿气体流动方向，相邻的两个所述喷淋段的所述喷淋孔总成之间的间距逐渐减小，和/或

相邻的两个所述喷淋段的所述喷淋孔总成的所述喷淋孔孔径逐渐增大，和/或

相邻的两个所述喷淋段的所述喷淋孔总成的所述喷淋孔数量逐渐增多，和/或

相邻的两个所述喷淋段的所述喷淋孔总成的数量逐渐增多。

作为优选，相邻的两个所述喷淋孔总成之间的间距为相邻两个所述喷淋孔总成的所述喷淋孔所在截面之间的距离。

作为优选，相邻的两个所述喷淋段的所述喷淋孔总成之间的间距沿着气体流动方向呈等差数列进行设置。

作为优选，相邻的两个所述喷淋段的所述喷淋孔总成的所述喷淋孔的孔径沿着气体流动方向采用等差数列设置。

作为优选，所述喷淋孔的中心轴线均沿着管体的径向设置。

作为优选，所述喷淋孔总成的相邻的两个所述喷淋孔的中心轴线之间的夹角为10-90°。

作为优选，同一所述喷淋段上，相邻的两个所述喷淋孔总成的所述喷淋孔一一对应设置。

作为优选，所述喷淋孔为锥形孔,所述喷淋孔的孔径沿着所述管体(1)的径向由内而外逐渐增大。

本实用新型的目的在于提供了一种扩散炉，包括上述任一喷淋管，该扩散炉可以提高操作人员安装喷淋管的效率，避免喷淋管与炉壁发生硬性接触，保护了炉体和喷淋管。

为实现上述目的，提供以下技术方案：