[实用新型]一种硅基体直立式镀膜的配套装置有效

专利信息
申请号: 201821893094.X 申请日: 2018-11-16
公开(公告)号: CN209555363U 公开(公告)日: 2019-10-29
发明(设计)人: 范继良 申请(专利权)人: 黄剑鸣
主分类号: C23C14/50 分类号: C23C14/50;C23C14/04;C23C16/458;C23C16/04
代理公司: 广州粤高专利商标代理有限公司 44102 代理人: 林丽明
地址: 中国香港新*** 国省代码: 中国香港;81
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要:
搜索关键词: 硅基体 相框架 固定件 镀膜 框体 凸点 本实用新型 配合连接 配套装置 直立式 凹口 承载 四边 槽体底边 气相沉积 竖直固定 真空镀膜 等离子 侧边框 上边框 下边框 有效地 槽体 插槽 插缝 竖直 制程 轰击 搁置 配合 贯穿 支撑
【权利要求书】:

1.一种硅基体直立式镀膜的配套装置,其特征在于,包括将硅基体竖直固定的框体和承载数个框体的无底槽体,所述框体包括四边支撑的相框架和固定件,相框架搁置于无底槽体底边上,相框架上边框设有配合硅基体贯穿的插缝,相框架下边框设有配合硅基体单侧插入的插槽,相框架的侧边框上设有凸点,固定件与凸点配合连接的相应位置设有凹口,固定件通过凹口与凸点的配合连接,将其固定于相框架。

2.如权利要求1所述的硅基体直立式镀膜的配套装置,其特征在于,所述凸点的数目至少为二,所述凹口的数目至少为二,所述相框架的两侧边框分别设有凸点,固定件的两侧边分别设有与凸点配合连接的凹口,固定件通过凹口与凸点的配合连接固定于相框架上边框。

3.如权利要求1所述的硅基体直立式镀膜的配套装置,其特征在于,所述相框架还包括前掩框和后背框,所述前掩框固定嵌入相框架镂空部的其中一侧面,所述后背框固定嵌入相框架镂空部的另一侧面。

4.如权利要求3所述的硅基体直立式镀膜的配套装置,其特征在于,所述前掩框的镂空外形与硅基体的待镀膜外形相匹配。

5.如权利要求3所述的硅基体直立式镀膜的配套装置,其特征在于,所述前掩框的镂空外形的内角为倒角设置。

6.如权利要求3所述的硅基体直立式镀膜的配套装置,其特征在于,还包括具有与硅基体非镀面外形相匹配的屏闭片,所述屏闭片可拆卸地镶嵌于后背框的镂空部。

7.如权利要求1所述的硅基体直立式镀膜的配套装置,其特征在于,所述框体还包括搁置条,所述搁置条设于相框架的底边框的底部。

8.如权利要求1-7任一项所述的硅基体直立式镀膜的配套装置,其特征在于,所述无底槽体的底边设有数个间距均匀的突起,所述框体间隙配合限位于相邻突起之间。

9.如权利要求1所述的硅基体直立式镀膜的配套装置,其特征在于,所述无底槽体底边的下方设有防滑胶垫。

10.如权利要求1所述的硅基体直立式镀膜的配套装置,其特征在于,所述无底槽体还包括围着无底槽体底边竖立的槽边。

下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于黄剑鸣,未经黄剑鸣许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201821893094.X/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top