[实用新型]一种硅基体直立式镀膜的配套装置有效
申请号: | 201821893094.X | 申请日: | 2018-11-16 |
公开(公告)号: | CN209555363U | 公开(公告)日: | 2019-10-29 |
发明(设计)人: | 范继良 | 申请(专利权)人: | 黄剑鸣 |
主分类号: | C23C14/50 | 分类号: | C23C14/50;C23C14/04;C23C16/458;C23C16/04 |
代理公司: | 广州粤高专利商标代理有限公司 44102 | 代理人: | 林丽明 |
地址: | 中国香港新*** | 国省代码: | 中国香港;81 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 硅基体 相框架 固定件 镀膜 框体 凸点 本实用新型 配合连接 配套装置 直立式 凹口 承载 四边 槽体底边 气相沉积 竖直固定 真空镀膜 等离子 侧边框 上边框 下边框 有效地 槽体 插槽 插缝 竖直 制程 轰击 搁置 配合 贯穿 支撑 | ||
1.一种硅基体直立式镀膜的配套装置,其特征在于,包括将硅基体竖直固定的框体和承载数个框体的无底槽体,所述框体包括四边支撑的相框架和固定件,相框架搁置于无底槽体底边上,相框架上边框设有配合硅基体贯穿的插缝,相框架下边框设有配合硅基体单侧插入的插槽,相框架的侧边框上设有凸点,固定件与凸点配合连接的相应位置设有凹口,固定件通过凹口与凸点的配合连接,将其固定于相框架。
2.如权利要求1所述的硅基体直立式镀膜的配套装置,其特征在于,所述凸点的数目至少为二,所述凹口的数目至少为二,所述相框架的两侧边框分别设有凸点,固定件的两侧边分别设有与凸点配合连接的凹口,固定件通过凹口与凸点的配合连接固定于相框架上边框。
3.如权利要求1所述的硅基体直立式镀膜的配套装置,其特征在于,所述相框架还包括前掩框和后背框,所述前掩框固定嵌入相框架镂空部的其中一侧面,所述后背框固定嵌入相框架镂空部的另一侧面。
4.如权利要求3所述的硅基体直立式镀膜的配套装置,其特征在于,所述前掩框的镂空外形与硅基体的待镀膜外形相匹配。
5.如权利要求3所述的硅基体直立式镀膜的配套装置,其特征在于,所述前掩框的镂空外形的内角为倒角设置。
6.如权利要求3所述的硅基体直立式镀膜的配套装置,其特征在于,还包括具有与硅基体非镀面外形相匹配的屏闭片,所述屏闭片可拆卸地镶嵌于后背框的镂空部。
7.如权利要求1所述的硅基体直立式镀膜的配套装置,其特征在于,所述框体还包括搁置条,所述搁置条设于相框架的底边框的底部。
8.如权利要求1-7任一项所述的硅基体直立式镀膜的配套装置,其特征在于,所述无底槽体的底边设有数个间距均匀的突起,所述框体间隙配合限位于相邻突起之间。
9.如权利要求1所述的硅基体直立式镀膜的配套装置,其特征在于,所述无底槽体底边的下方设有防滑胶垫。
10.如权利要求1所述的硅基体直立式镀膜的配套装置,其特征在于,所述无底槽体还包括围着无底槽体底边竖立的槽边。
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