[实用新型]一种晶圆测试设备

权利要求书

1.一种晶圆测试设备，其特征在于，包括真空系统及测试台，所述真空系统包括箱体及连接于所述箱体上的抽真空模组，所述测试台设置于所述箱体内；所述测试台包括用于放置晶圆的载台，及对晶圆进行测试的探针。

2.根据权利要求1所述的测试设备，其特征在于，所述测试台可滑动的设置于所述箱体内底面上。

3.根据权利要求2所述的测试设备，其特征在于，所述测试台包括固定座，所述固定座底部设有滑块，所述箱体内底面上设有与所述滑块配合的滑轨，所述测试台通过所述滑块在所述滑轨上滑动。

4.根据权利要求2或3所述的测试设备，其特征在于，所述测试台还包括用于锁紧所述测试台的第一锁紧机构。

5.根据权利要求3所述的测试设备，其特征在于，所述测试台还包括：调节载台在Y轴方向的位置的第一调节机构、调节载台在X轴方向的位置的第二调节机构；所述X轴方向和Y轴方向平行于所述箱体的底面；

所述第一调节机构设置于所述固定座上，所述第二调节机构设置于所述第一调节机构上，所述载台设置于所述第二调节机构上。

6.根据权利要求3所述的测试设备，其特征在于，所述测试台还包括：调节载台在Y轴方向的位置的第一调节机构、调节所述载台在X轴方向的位置的第二调节机构；

所述测试台还包括：调节所述载台在X轴方向的位置的第三调节机构、调节载台在Y轴方向的位置的第四调节机构、调节载台在Z轴方向的位置的第五调节机构及调节载台水平旋转角度的第六调节机构；

所述X轴方向和Y轴方向平行于所述箱体的底面，所述Z轴方向垂直于所述箱体的底面；

所述第一调节机构设置于所述固定座上，所述第二调节机构设置于所述第一调节机构上，所述第三调节机构与第四调节机构、第五调节机构及第六调节机构设置于所述第二调节机构上，其中，所述第四调节机构相对于所述第三调节机构靠近所述第二调节机构，所述第五调节机构位于第四调节机构上方，所述第六调节机构位于第五调节机构上方，所述载台位于第六调节机构上。

7.根据权利要求5或6所述的测试设备，其特征在于，所述第一调节机构底部设有第一滑块，所述固定座上表面设有与所述第一滑块配合的第一滑轨，所述第一调节机构通过所述第一滑块在所述第一滑轨上滑动；

所述第一调节机构上表面设有第二滑轨，所述第二调节机构底部设有与所述第二滑轨配合的第二滑块，所述第二调节机构通过所述第二滑块在所述第二滑轨上滑动；

所述第一调节机构及第二调节机构为粗调机构。

8.根据权利要求6所述的测试设备，其特征在于，所述第三、第四、第五及第六调节机构上分别安装有滑动平台及设置于所述滑动平台上的测微头，通过所述测微头驱动所述滑动平台滑动，以分别对载台在X、Y、Z轴上的位置及在水平方向上的旋转角度微调。

9.根据权利要求5或6所述的测试设备，其特征在于，所述第一调节机构及第二调节机构上分别设有第二锁紧机构。

10.根据权利要求8所述的测试设备，其特征在于，在所述第五调节机构上的测微头的周向上，设有用于限制载台在Z轴方向上移动位置的限位锁紧件。

11.根据权利要求6或8所述的测试设备，其特征在于，所述第六调节机构包括平台，在所述平台上安装有所述载台，在所述载台上设有用于固定晶圆的压环。

12.根据权利要求3所述的测试设备，其特征在于，所述测试台上还设有针卡安装机构，所述探针安装机构包括支撑板、针卡固定座及针卡压块，所述支撑板立设于所述固定座上，所述针卡固定座安装于所述支撑板上、且位于所述载台上方，所述针卡固定座上设有针卡安装槽，所述针卡压块用于固定针卡安装槽中的针卡。

13.根据权利要求12所述的测试设备，其特征在于，所述针卡中安装有多根探针。