[实用新型]一种用于CVD气瓶的固定装置有效
申请号: | 201821904947.5 | 申请日: | 2018-11-19 |
公开(公告)号: | CN209210915U | 公开(公告)日: | 2019-08-06 |
发明(设计)人: | 肖冬明;马国生;王良;李登瑞;刘洪彪;许明鹏;蔡雅婷;孙顺盈;王强;陈旭军;李兵乐;朱金东;甄超兴 | 申请(专利权)人: | 金川集团股份有限公司 |
主分类号: | C23C16/00 | 分类号: | C23C16/00 |
代理公司: | 甘肃省知识产权事务中心 62100 | 代理人: | 孙惠娜 |
地址: | 737103*** | 国省代码: | 甘肃;62 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 外框架 可调节底座 底部支撑结构 底座定位块 容器上盖 安装孔 外接口 固定装置 内接口 盖板 气瓶 加工 本实用新型 侧支撑结构 供给设备 可拆卸的 内部设置 配合安装 气化冶金 | ||
1.一种用于CVD气瓶的固定装置,其特征在于:包括容器外接口(1)、容器内接口(2)、加工瓶(3)、可调节底座(5)、容器上盖(6)、侧支撑结构(9)、底部支撑结构(10)、底座定位块(11)、外框架,所述外框架上部可拆卸的设置容器上盖(6),所述外框架底部两侧均匀分布有底座定位块(11),所述外框架底部设置可调节底座(5),所述可调节底座(5)两端配合安装在所述外框架底部两侧的底座定位块(11)上,所述可调节底座(5)上设置底部支撑结构(10),所述容器上盖(6)为两块水平放置的盖板,所述两块水平放置的盖板之间设置有安装孔,所述安装孔上部设置容器外接口(1),所述安装孔下部设置容器内接口(2),所述容器外接口(1)与气化冶金供给设备连接,所述外框架内部设置加工瓶(3),所述加工瓶(3)底部与所述底部支撑结构(10)相互接触,所述加工瓶(3)外侧与所述侧支撑结构(9)相互接触,所述加工瓶(3)上部开口与所述容器内接口(2)相互对接。
2.根据权利要求1所述的一种用于CVD气瓶的固定装置,其特征在于:所述外框架包括两个相对设置的框架侧板(8)和侧拉筋(4),所述侧拉筋(4)交叉设置于两个相对设置的框架侧板(8)外侧,用于固定牵拉两个相对设置的框架侧板(8)。
3.根据权利要求1所述的一种用于CVD气瓶的固定装置,其特征在于:所述外框架上部侧边设置有安装销孔,所述容器上盖(6)底部设置有销环,所述销环通过固定销(7)固定在安装销孔上。
4.根据权利要求1所述的一种用于CVD气瓶的固定装置,其特征在于:所述容器内接口(2)包括限位槽(2-1)、密封压板(2-2)、硅胶密封垫(2-3),所述限位槽(2-1)设置于所述安装孔一侧,所述密封压板(2-2)设置于所述安装孔下部,所述密封压板(2-2)下侧设置硅胶密封垫(2-3)。
5.根据权利要求1所述的一种用于CVD气瓶的固定装置,其特征在于:所述侧支撑结构(9)包括弧形固定板(9-1)、内固定螺栓(9-2)、螺杆(9-3)、弹簧(9-4)、固定支架(9-5)、外固定螺栓(9-6)、定位孔(9-7)、拉环(9-8),所述螺杆(9-3)一端设置弧形固定板(9-1),所述螺杆(9-3)另一端依次安装内固定螺栓(9-2)、弹簧(9-4)、固定支架(9-5)、外固定螺栓(9-6)和拉环(9-8),所述固定支架(9-5)固定安装在所述外框架侧壁上,所述螺杆(9-3)上靠近外固定螺栓(9-6)一侧的杆体上设置有定位孔(9-7)。
6.根据权利要求1至5任一所述的一种用于CVD气瓶的固定装置,其特征在于:所述底部支撑结构(10)包括底部弧形固定板(10-1)、底部螺杆(10-2)、摇杆(10-3),所述底部螺杆(10-2)竖直设置于所述可调节底座(5)上,所述底部螺杆(10-2)与所述可调节底座(5)为螺纹连接,所述底部螺杆(10-2)顶部设置底部弧形固定板(10-1),所述底部螺杆(10-2)底部设置摇杆(10-3)。
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C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的