[实用新型]一种用于CVD气瓶的固定装置有效
申请号: | 201821904947.5 | 申请日: | 2018-11-19 |
公开(公告)号: | CN209210915U | 公开(公告)日: | 2019-08-06 |
发明(设计)人: | 肖冬明;马国生;王良;李登瑞;刘洪彪;许明鹏;蔡雅婷;孙顺盈;王强;陈旭军;李兵乐;朱金东;甄超兴 | 申请(专利权)人: | 金川集团股份有限公司 |
主分类号: | C23C16/00 | 分类号: | C23C16/00 |
代理公司: | 甘肃省知识产权事务中心 62100 | 代理人: | 孙惠娜 |
地址: | 737103*** | 国省代码: | 甘肃;62 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 外框架 可调节底座 底部支撑结构 底座定位块 容器上盖 安装孔 外接口 固定装置 内接口 盖板 气瓶 加工 本实用新型 侧支撑结构 供给设备 可拆卸的 内部设置 配合安装 气化冶金 | ||
本实用新型公开了一种用于CVD气瓶的固定装置,包括容器外接口、容器内接口、加工瓶、可调节底座、容器上盖、侧支撑结构、底部支撑结构、底座定位块、外框架,所述外框架上部可拆卸的设置容器上盖,所述外框架底部两侧均匀分布有底座定位块,所述外框架底部设置可调节底座,所述可调节底座两端配合安装在所述外框架底部两侧的底座定位块上,所述可调节底座上设置底部支撑结构,所述容器上盖为两块水平放置的盖板,所述两块水平放置的盖板之间设置有安装孔,所述安装孔上部设置容器外接口,所述安装孔下部设置容器内接口,所述容器外接口与气化冶金供给设备连接,所述外框架内部设置加工瓶,所述加工瓶底部与所述底部支撑结构相互接触。
技术领域
本实用新型涉及CVD气瓶的固定设备技术领域,特别涉及一种用于CVD气瓶的固定装置。
背景技术
在CVD产品生产过程中主要利用羰基物为纯净气体,在分解过程中产生CO气体和固体金属的方法生产各种特性的产品,成为气化冶金,通过气化冶金将金属附着在加工件的表面形成特殊应用的产品,在利用CVD技术进行加工瓶镀层的过程中需要将气瓶放在导热油中进行油浴加热处理,现有装置只能将外界管道与加工瓶进行连接,而无法将加工瓶固定,只能适用于一种加工瓶,而且操作繁琐,密封性能不好,因此能够将加工瓶在外部进行固定密封处理,同时适应不同大小的加工瓶,提高工作工作效率,节约运行成本成为必然。
实用新型内容
针对上述技术问题,本实用新型提供了一种用于CVD气瓶的固定装置。
为了实现上述目的,本实用新型的技术方案具体如下:
一种用于CVD气瓶的固定装置,包括容器外接口、容器内接口、加工瓶、可调节底座、容器上盖、侧支撑结构、底部支撑结构、底座定位块、外框架,所述外框架上部可拆卸的设置容器上盖,所述外框架底部两侧均匀分布有底座定位块,所述外框架底部设置可调节底座,所述可调节底座两端配合安装在所述外框架底部两侧的底座定位块上,所述可调节底座上设置底部支撑结构,所述容器上盖为两块水平放置的盖板,所述两块水平放置的盖板之间设置有安装孔,所述安装孔上部设置容器外接口,所述安装孔下部设置容器内接口,所述容器外接口与气化冶金供给设备连接,所述外框架内部设置加工瓶,所述加工瓶底部与所述底部支撑结构相互接触,所述加工瓶外侧与所述侧支撑结构相互接触,所述加工瓶上部开口与所述容器内接口相互对接。
所述外框架包括两个相对设置的框架侧板和侧拉筋,所述侧拉筋交叉设置于两个相对设置的框架侧板外侧,用于固定牵拉两个相对设置的框架侧板。
所述外框架上部侧边设置有安装销孔,所述容器上盖底部设置有销环,所述销环通过固定销固定在安装销孔上。
所述容器内接口包括限位槽、密封压板、硅胶密封垫,所述限位槽设置于所述安装孔一侧,所述密封压板设置于所述安装孔下部,所述密封压板下侧设置硅胶密封垫。
所述侧支撑结构包括弧形固定板、内固定螺栓、螺杆、弹簧、固定支架、外固定螺栓、定位孔、拉环,所述螺杆一端设置弧形固定板,所述螺杆另一端依次安装内固定螺栓、弹簧、固定支架、外固定螺栓和拉环,所述固定支架固定安装在所述外框架侧壁上,所述螺杆上靠近外固定螺栓一侧的杆体上设置有定位孔。
所述底部支撑结构包括底部弧形固定板、底部螺杆、摇杆,所述底部螺杆竖直设置于所述可调节底座上,所述底部螺杆与所述可调节底座为螺纹连接,所述底部螺杆顶部设置底部弧形固定板,所述底部螺杆底部设置摇杆。
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C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的