[实用新型]一种微型器件转移装置及转移系统有效

专利信息
申请号: 201821909442.8 申请日: 2018-11-20
公开(公告)号: CN209087798U 公开(公告)日: 2019-07-09
发明(设计)人: 韩进龙 申请(专利权)人: 韩进龙
主分类号: H01L21/677 分类号: H01L21/677;H01L21/683
代理公司: 安徽知问律师事务所 34134 代理人: 王亚军
地址: 243000 安*** 国省代码: 安徽;34
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摘要:
搜索关键词: 微型器件 感应装置 转移装置 转移系统 本实用新型 电场感应 转换机构 转印技术 电子制造领域 清洁机构 相对设置 转移基板 转移效率 错误率 转写轮 准确率 回收
【权利要求书】:

1.一种微型器件转移装置,其特征在于,包括,

一个或多个微型器件转移匣(201),微型器件转移匣(201)与转移机构对应,用于存放微型器件(1),并将微型器件(1)转移至转移机构的感应装置(202)上;

转移机构,包括感应装置(202)和与感应装置(202)相对设置的转写轮(203),利用感应装置(202)、微型器件(1)和转写轮(203)之间的电场感应进行微型器件(1)的转移,将感应装置(202)上的微型器件(1)转移至转移基板(5)上。

2.根据权利要求1所述的一种微型器件转移装置,其特征在于,还包括清洁机构,将感应装置(202)上未转移完全的微型器件(1)回收。

3.根据权利要求2所述的一种微型器件转移装置,其特征在于,所述的清洁机构包括感应装置刮刀(205)和感应回收仓(206),感应装置刮刀(205)紧贴感应装置(202)的外缘,感应回收仓(206)与感应装置(202)相邻设置,未转移完全的微型器件(1)回收至感应回收仓(206)内。

4.根据权利要求1所述的一种微型器件转移装置,其特征在于,所述的微型器件转移匣(201)包括壳体,壳体内设置有转移滚轮(211),转移滚轮(211)设置有用于放置微型器件(1)的转移滚轮转移孔(223),转移滚轮(211)内部设置有转移滚轮磁铁(221),转移滚轮(211)上设置有转移滚轮刮刀(224)。

5.根据权利要求1所述的一种微型器件转移装置,其特征在于,所述的感应装置(202)为一金属滚轮或外部通过皮带的连接多个滚轮结构,金属滚轮或皮带上设置有导电层。

6.根据权利要求1所述的一种微型器件转移装置,其特征在于,感应装置(202)为感应轮,感应轮内部设置有感应轮磁铁(2022)和/或转写轮(203)内部设置有转写轮磁铁(2031)。

7.根据权利要求1或6所述的一种微型器件转移装置,其特征在于,感应装置(202)上设置有感应孔位(2021),感应孔位(2021)直径大于微型器件(1)上部直径。

8.根据权利要求1所述的一种微型器件转移装置,其特征在于,还包括回收系统,回收系统设置于微型器件转移匣(201)内和/或设置于转移机构后段,将未安装在对应部位的微型器件(1)进行回收。

9.根据权利要求8所述的一种微型器件转移装置,其特征在于,设置于微型器件转移匣(201)内的回收系统结构如下,微型器件转移匣(201)内的转移滚轮(211)相邻的位置设置有回收轮(212),转移滚轮(211)与回收轮(212)紧贴,回收轮(212)内部靠近转移滚轮(211)一侧设置有回收轮磁铁(222),回收轮(212)内部背离转移滚轮(211)一侧无磁铁。

10.根据权利要求8所述的一种微型器件转移装置,其特征在于,设置于转移机构后段的回收系统结构如下,包括回收轮(212)和与回收轮(212)对应的回收压轮(215),转移基板(5)从回收轮(212)和回收压轮(215)之间通过,回收轮(212)内部靠近回收压轮(215)一侧设置有回收轮磁铁(222),回收轮(212)内部背离回收压轮(215)一侧无磁铁,回收压轮(215)内部设置有磁铁。

11.一种微型器件转移系统,其特征在于,包括权利要求1-10任一所述的若干转移装置、转移基板(5)、传感器(204)及控制系统,若干转移装置设置有一个或者多个,转移基板(5)穿过转移装置(2),转移装置将微型器件(1)从转移装置(2)中转移至转移基板(5)上,传感器(204)对转移基板(5)进行探测,控制系统控制若干转移装置的工作和转移基板(5)的前进。

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