[实用新型]一种槽间承接盘的清洗装置及清洗机有效

专利信息
申请号: 201821909874.9 申请日: 2018-11-19
公开(公告)号: CN209287904U 公开(公告)日: 2019-08-23
发明(设计)人: 颜超仁;赵黎;刘家桦;叶日铨 申请(专利权)人: 德淮半导体有限公司
主分类号: B08B9/093 分类号: B08B9/093;B08B3/08;F26B21/00
代理公司: 上海思捷知识产权代理有限公司 31295 代理人: 王宏婧
地址: 223300 江苏*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 承接盘 槽间 水槽 化学药液 清洗装置 酸洗槽 晶圆 清洗模块 清洗机 良率 种槽 冲洗 残留 本实用新型 操作过程 干燥模块 结晶现象 金属污染 晶圆缺陷 流体干燥 气态流体 有效预防 飞溅 滴落 废液 腐蚀 生产
【权利要求书】:

1.一种槽间承接盘的清洗装置,用于清洗机上,其特征在于,包括液体清洗模块和气态流体干燥模块,所述液体清洗模块用于冲洗所述槽间承接盘,所述气态流体干燥模块用于干燥冲洗后的所述槽间承接盘。

2.如权利要求1所述的槽间承接盘的清洗装置,其特征在于,所述液体清洗模块包括冲洗喷嘴、清洗液源及清洗管路,所述气态流体干燥模块包括流体气源和干燥管路;

所述冲洗喷嘴位于所述清洗机上靠近所述槽间承接盘的两个相对设置的外槽壁的其中一个所述外槽壁和/或另一个所述外槽壁上,所述清洗管路的一端连接于所述冲洗喷嘴,所述清洗管路的另一端连接于所述清洗液源,所述冲洗喷嘴喷出的液体用于冲洗所述槽间承接盘;

所述干燥管路的进口端连接于所述流体气源,所述干燥管路的出口端位于所述一个外槽壁和/或所述另一个外槽壁上,所述干燥管路的出口端喷出的气态流体用于干燥所述槽间承接盘;

且所述冲洗喷嘴和所述干燥管路的出口端均位于所述槽间承接盘的上方。

3.如权利要求2所述的槽间承接盘的清洗装置,其特征在于,所述流体气源为氮气或惰性气体。

4.如权利要求2所述的槽间承接盘的清洗装置,其特征在于,所述清洗液源为去离子水。

5.如权利要求4所述的槽间承接盘的清洗装置,其特征在于,所述液体清洗模块与所述清洗机的水槽共用一个水源。

6.如权利要求2所述的槽间承接盘的清洗装置,其特征在于,还包括第一截止阀、第二截止阀及一个节流阀,所述第一截止阀和所述节流阀分别连接于所述清洗管路中,所述第二截止阀连接于所述干燥管路中。

7.如权利要求2所述的槽间承接盘的清洗装置,其特征在于,所述液体清洗模块包括一独立设置的清洗液源。

8.如权利要求2所述的槽间承接盘的清洗装置,其特征在于,所述冲洗喷嘴的数量为多个,且多个所述冲洗喷嘴位于同一水平面上。

9.如权利要求8所述的槽间承接盘的清洗装置,其特征在于,所述干燥管路的出口端有多个,且多个所述干燥管路的出口端与多个所述冲洗喷嘴位于同一水平面上。

10.如权利要求9所述的槽间承接盘的清洗装置,其特征在于,所述冲洗喷嘴的数量为四个,所述干燥管路的出口端为两个,

其中一个所述出口端和两个所述冲洗喷嘴位于所述清洗机的水槽的外槽壁上,另一个所述出口端和另两个所述冲洗喷嘴位于所述清洗机的酸洗槽的外槽壁上,且所述四个冲洗喷嘴在垂直于水平面方向上的投影呈矩形布置,所述一个出口端位于所述矩形沿垂直于所述一个外槽壁的对称面与所述一个外槽壁的交线上,所述另一个出口端位于所述对称面与所述另一个外槽壁的交线上。

11.一种清洗机,其特征在于,包括如权利要求1-10任一项所述的槽间承接盘的清洗装置。

12.如权利要求11所述的一种清洗机,其特征在于,所述槽间承接盘具有两个相对设置的外槽壁,所述槽间承接盘在同时垂直于一个所述外槽壁和水平面的一平面上的正投影形状为V型。

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