[实用新型]一种并联微补偿装置

权利要求书

1.一种并联微补偿装置，其特征在于，包括：运动平台、基座、三个支架、三个第一运动组件和三个第二运动组件；

所述运动平台为等边三角形状，且其每个端点均对应连接有一个所述第一运动组件和一个所述第二运动组件；

三个所述第一运动组件和三个所述支架均固定连接于所述基座上，三个所述支架与三个所述第一运动组件一一对应且平行设置；

每个所述支架上固定连接有一个所述第二运动组件，且每个所述第二运动组件与对应的所述第一运动组件垂直设置；

其中，每个所述第一运动组件用于驱动对应的所述端点靠近或远离所述基座，每个所述第二运动组件用于驱动对应的所述端点靠近或远离对应的所述支架。

2.根据权利要求1所述的并联微补偿装置，其特征在于，所述第一运动组件和所述第二运动组件均包括：柔性铰链和压电陶瓷；

所述柔性铰链的第一端与所述运动平台连接，第二端与所述压电陶瓷连接。

3.根据权利要求2所述的并联微补偿装置，其特征在于，所述第一运动组件和所述第二运动组件均还包括：固定螺栓、调节活塞和套筒；

所述固定螺栓中心开设有通孔，所述调节活塞包含主体和设于所述主体顶部的第一延伸件，所述第一延伸件通过所述通孔与所述柔性铰链的第二端连接，所述主体的底部与压电陶瓷连接；

所述套筒内设有与所述固定螺栓相匹配的螺纹，且所述固定螺栓的螺杆、所述调节活塞和所述压电陶瓷均设置于所述套筒内。

4.根据权利要求3所述的并联微补偿装置，其特征在于，所述第一运动组件和所述第二运动组件均还包括：套于所述第一延伸件上的弹簧，且所述弹簧设置于所述固定螺栓的螺杆与所述调节活塞的主体之间。

5.根据权利要求4所述的并联微补偿装置，其特征在于，所述柔性铰链包含：虎克铰和圆弧铰，所述圆弧铰的固定端与所述虎克铰的第一旋转端连接，且所述圆弧铰的旋转轴分别与所述虎克铰的两个旋转轴垂直。

6.根据权利要求5所述的并联微补偿装置，其特征在于，所述虎克铰的第二旋转端上具有第二延伸件，所述第二延伸件通过所述通孔与所述第一延伸件连接。

7.根据权利要求6所述的并联微补偿装置，其特征在于，所述圆弧铰的固定端与所述虎克铰的第一旋转端一体成型。

8.根据权利要求7所述的并联微补偿装置，其特征在于，所述圆弧铰的旋转端通过螺钉与所述运动平台的端点连接。

9.根据权利要求3至8任意一项所述的并联微补偿装置，其特征在于，所述套筒通过螺钉固定于所述支架上。