[实用新型]一种晶圆目检治具有效
| 申请号： | 201821913029.9 | 申请日： | 2018-11-20 |
| 公开（公告）号： | CN209296595U | 公开（公告）日： | 2019-08-23 |
| 发明（设计）人： | 陈军;陈毅志;蔡文必 | 申请（专利权）人： | 厦门市三安集成电路有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/84 | 分类号： | G01N21/84;G01N21/01 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 361100 福建省厦门*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 环形本体 目检 本实用新型 固定环 支撑柱 治具 种晶 载体产品 载物盘 把柄 复数 凸台 | ||
【权利要求书】：
1.一种晶圆目检治具，其特征在于：包括环形本体、支撑柱和固定环，复数个的支撑柱设置在环形本体上，固定环固定在环形本体的内环中并与环形本体形成凸台，环形本体具有至少一凹槽和一把柄。
2.根据权利要求1所述的一种晶圆目检治具，其特征在于：支撑柱的数量为四个，支撑柱以环形本体的圆心为中心点对称排列。
3.根据权利要求1所述的一种晶圆目检治具，其特征在于：支撑柱的数量为三个，支撑柱以环形本体的圆心为中心点形成等腰三角形。
4.根据权利要求1所述的一种晶圆目检治具，其特征在于：把柄的数量为两个，把柄以环形本体的圆心为中心点，对称排列于环形本体上。
5.根据权利要求1所述的一种晶圆目检治具，其特征在于：治具由铁氟龙材料制得而成。
6.根据权利要求1所述的一种晶圆目检治具，其特征在于：在环形本体上设置卡槽和折叠盖，折叠盖覆盖卡槽，支撑柱固定在折叠盖上并容纳于卡槽中。
7.根据权利要求1所述的一种晶圆目检治具，其特征在于：支撑柱为螺栓，在环形本体上设置螺纹孔，螺栓螺纹连接在螺纹孔中。
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