[实用新型]一种晶圆目检治具

说明书

本实用新型公开了一种晶圆目检治具，包括环形本体、支撑柱和固定环，复数个的支撑柱设置在环形本体上，固定环固定在环形本体的内环中并与环形本体形成凸台，环形本体具有至少一凹槽和一把柄。本实用新型能适用于不同的载体产品载物盘，提高目检效率。

技术领域

本实用新型涉及半导体集成电路制造领域，特别涉及一种晶圆目检治具。

背景技术

晶圆在后段各站点完成后进行目检时，产品主要承载在显微镜自带载物盘上，因而带来了众多不便。后端各制程晶圆生产载体尺寸主要有159mm 蓝宝石、8寸铁环、21mm扩张环。

当晶圆贴附在蓝宝石载体进行目检时，检查正面时，背面易被载物盘刮伤，需提前垫无尘布防止刮伤；检查背面时，因蓝宝石基板的直径大于载物盘直径而易滑动，无法满足固定位置取放。

当晶圆贴附在8寸铁环上进行目检时，现有载物盘直径太小且边缘较细小对UV膜有一定的损伤，需额外治具支撑间隔。

当晶圆切割扩张后目检（21mm扩张环），需将现有载物盘拆下后，才能放置并进行目检，十分不方便。

后段各工序目检时采用同一显微镜，针对不同的载体产品载物盘需提前做不同的保护措施且切换频繁，目检效率低。

因此，本发明人对此做进一步研究，研发出一种晶圆目检治具，本案由此产生。

发明内容

本实用新型所要解决的技术问题在于提供一种晶圆目检治具，能适用于不同的载体产品载物盘，提高目检效率。

为解决上述技术问题，本实用新型的技术解决方案是：

一种晶圆目检治具，包括环形本体、支撑柱和固定环，复数个的支撑柱设置在环形本体上，固定环固定在环形本体的内环中并与环形本体形成凸台，环形本体具有至少一凹槽和一把柄。

进一步，支撑柱的数量为四个，支撑柱以环形本体的圆心为中心点对称排列。

进一步，支撑柱的数量为三个，支撑柱以环形本体的圆心为中心点形成等腰三角形。

进一步，把柄的数量为两个，把柄以环形本体的圆心为中心点，对称排列于环形本体上。

进一步，治具由铁氟龙材料制得而成。

进一步，在环形本体上设置卡槽和折叠盖，折叠盖覆盖卡槽，支撑柱固定在折叠盖上并容纳于卡槽中。

进一步，支撑柱为螺栓，在环形本体上设置螺纹孔，螺栓螺纹连接在螺纹孔中。

本实用新型采用镂空的方式和环形的定位方式保护晶圆不直接接触机台的台面并且保证晶圆位置固定，从而达到保护目的。本实用新型具有以下优点：

1、当晶圆贴附在蓝宝石载体进行目检时，台面与产品背面隔空放置，保证背面不刮伤；

2、满足固定位置取放、不易接触产品且不易滑动；

3、能适用于不同的载体产品载物盘，优化操作流程，提供目检效率；

4、本实用新型的结构简单，功能多样化，可实现多站点目检。

附图说明

图1是本实用新型的示意图；

图2是本实用新型的左视图；

图3是本实用新型另一实施例的示意图；

图4是本实用新型运用在159mm正面对位时的示意图一；

图5是本实用新型运用在159mm正面对位时的示意图二；

图6是本实用新型运用在159mm背面对位时的示意图一；