[实用新型]一种无屑激光加工装置

权利要求书

1.一种无屑激光加工装置，用于对加工对象物（W）进行激光刻槽，包括出射激光束的激光源（1）和用于装载加工对象物（W）的工作台（S），其特征在于：还包括将激光束分为主光束和辅助光束的第一偏振分光镜（2）、对主光束和辅助光束进行接收并以相同的方向同时照射在加工对象物（W）上的第二偏振分光镜（3），所述主光束通过第一光路路径调整部照射所述第二偏振分光镜（3），所述辅助光束通过第二光路路径调整部分为第一辅助光束、第二辅助光束，第一辅助光束和第二辅助光束照射所述第二偏振分光镜（3）并通过第二偏振分光镜（3）分别照射在主光束的边缘从而与主光束同时加工加工对象物（W）。

2.根据权利要求1所述的一种无屑激光加工装置，其特征在于：所述激光源（1）与第一偏振分光镜（2）之间的激光路径上配置有用于改变激光束偏振方向的第一波片（4）。

3.根据权利要求1所述的一种无屑激光加工装置，其特征在于：所述第一光路路径调整部包括依次反射主光束的第一反光镜（5）、第二反光镜（6）、第三反光镜（7）、第四反光镜（8），还包括用于调整主光束尺寸的扩束望远镜（9）、以及用于将主光束变成平行光束的主透镜（10）。

4.根据权利要求3所述的一种无屑激光加工装置，其特征在于：所述扩束望远镜（9）设于第二反光镜（6）和第三反光镜（7）之间的激光路径上，所述主透镜（10）设于扩束望远镜（9）与第三反光镜（7）之间的激光路径上。

5.根据权利要求1所述的一种无屑激光加工装置，其特征在于：所述第二光路路径调整部包括将辅助光束分为第一辅助光束和第二辅助光束的第一分光镜（11）、对第一辅助光束和第二辅助光束进行接收并照射第二偏振分光镜（3）的第二分光镜（12），还包括用于将第一辅助光束反射至第二分光镜（12）的第五反光镜（13）、用于将第二辅助光束反射至第二分光镜（12）的第六反光镜（14）。

6.根据权利要求5所述的一种无屑激光加工装置，其特征在于：所述第二光路路径调整部还包括用于调整辅助光束尺寸的光镜部（15），所述光镜部（15）包括第一光镜（15a）、第二光镜（15b）、以及用于调整第一光镜（15a）与第二光镜（15b）之间距离的光镜调整部，所述光镜部（15）设于所述第一偏振分光镜（2）与第一分光镜（11）之间、或者第二偏振分光镜（3）与第二分光镜（12）之间的激光路径上。

7.根据权利要求5所述的一种无屑激光加工装置，其特征在于：所述第二光路路径调整部还包括用于改变辅助光束偏振方向使得辅助光束能够通过第二偏振分光镜（3）反射的第二波片（16），所述第二波片（16）设于所述第一偏振分光镜（2）与第一分光镜（11）之间、或者第二偏振分光镜（3）与第二分光镜（12）之间的激光路径上。

8.根据权利要求3所述的一种无屑激光加工装置，其特征在于：所述第一光路路径调整部还包括用于改变主光束偏振方向使得主光束能够通过第二偏振分光镜（3）反射的第三波片（17）。

9.根据权利要求3所述的一种无屑激光加工装置，其特征在于：所述第一光路路径调整部还包括用于改变主光束偏振方向的第四波片（18）、以及与第四波片（18）相配合的用于降低主光束强度的第三偏振分光镜（19）。