[实用新型]一种无屑激光加工装置

说明书

本实用新型公开了一种无屑激光加工装置，用于对加工对象物进行激光刻槽，包括出射激光束的激光源和用于装载加工对象物的工作台，还包括将激光束分为主光束和辅助光束的第一偏振分光镜、对主光束和辅助光束进行接收并以相同的方向同时照射在加工对象物上的第二偏振分光镜，主光束通过第一光路路径调整部照射第二偏振分光镜，辅助光束通过第二光路路径调整部分为第一辅助光束、第二辅助光束，第一辅助光束和第二辅助光束照射第二偏振分光镜并通过第二偏振分光镜分别照射在主光束的边缘从而与主光束同时加工加工对象物。本实用新型能够有效防止主光束照射领域的边缘产生异物或碎屑，提高加工品质，同时还可以减小激光加工装置的体积，简化内部结构。

技术领域

本实用新型涉及一种无屑激光加工装置。

背景技术

目前在对加工对象物进行刻槽时，是将激光源出射的激光束照射在加工对象物上，通过移动激光源或加工对象物来完成刻槽，所刻槽的边缘不平整、且容易留下加工异物和碎屑，降低了激光加工的品质。为了解决上述问题，通常会使用主光束、比主光束更小的辅助光束一起加工加工对象物，主光束照射位置的边缘会先使用辅助光束进行照射，然后再用主光束沿着辅助光束的照射路径进行移动，主光束照射领域的边缘与辅助光束的照射领域部分重叠，从而在加工对象物上完成刻槽。

但是这样存在的缺陷是：1、辅助光束和主光束分别照射时，由于激光源或加工对象物的移动，加工对象物会有细微的颤动，因此光束的照射路径是呈曲线形式的，主光束照射时无法很好地与辅助光束的照射领域配合重叠，主光束照射领域的边缘，辅助光束无法完全处理，所刻槽的边缘仍会出现加工异物和碎屑，加工品质无法得到有效提高；2、主光束和辅助光束通过各自的路径照射加工对象物，增加了整个激光加工装置的体积，结构过于复杂。

发明内容

本实用新型解决的技术问题是提供一种无屑激光加工装置。

本实用新型的技术方案是：一种无屑激光加工装置，用于对加工对象物进行激光刻槽，包括出射激光束的激光源和用于装载加工对象物的工作台，还包括将激光束分为主光束和辅助光束的第一偏振分光镜、对主光束和辅助光束进行接收并以相同的方向同时照射在加工对象物上的第二偏振分光镜，所述主光束通过第一光路路径调整部照射所述第二偏振分光镜，所述辅助光束通过第二光路路径调整部分为第一辅助光束、第二辅助光束，第一辅助光束和第二辅助光束照射所述第二偏振分光镜并通过第二偏振分光镜分别照射在主光束的边缘从而与主光束同时加工加工对象物。

进一步的，本实用新型中所述激光源与第一偏振分光镜之间的激光路径上配置有用于改变激光束偏振方向的第一波片。

进一步的，本实用新型中所述第一光路路径调整部包括依次反射主光束的第一反光镜、第二反光镜、第三反光镜、第四反光镜，还包括用于调整主光束尺寸的扩束望远镜、以及用于将主光束变成平行光束的主透镜。

进一步的，本实用新型中所述扩束望远镜设于第二反光镜和第三反光镜之间的激光路径上，所述主透镜设于扩束望远镜与第三反光镜之间的激光路径上。

进一步的，本实用新型中所述第二光路路径调整部包括将辅助光束分为第一辅助光束和第二辅助光束的第一分光镜、对第一辅助光束和第二辅助光束进行接收并照射第二偏振分光镜的第二分光镜，还包括用于将第一辅助光束反射至第二分光镜的第五反光镜、用于将第二辅助光束反射至第二分光镜的第六反光镜。

进一步的，本实用新型中所述第二光路路径调整部还包括用于调整辅助光束尺寸的光镜部，所述光镜部包括第一光镜、第二光镜、以及用于调整第一光镜与第二光镜之间距离的光镜调整部，所述光镜部设于所述第一偏振分光镜与第一分光镜之间、或者第二偏振分光镜与第二分光镜之间的激光路径上。

进一步的，本实用新型中所述第二光路路径调整部还包括用于改变辅助光束偏振方向使得辅助光束能够通过第二偏振分光镜反射的第二波片，所述第二波片设于所述第一偏振分光镜与第一分光镜之间、或者第二偏振分光镜与第二分光镜之间的激光路径上。