[实用新型]一种机器人有效
| 申请号： | 201821928915.9 | 申请日： | 2018-11-21 |
| 公开（公告）号： | CN209453571U | 公开（公告）日： | 2019-10-01 |
| 发明（设计）人： | 易兴 | 申请（专利权）人： | 武汉新芯集成电路制造有限公司 |
| 主分类号： | B25J11/00 | 分类号： | B25J11/00;B25J19/02;B25J9/16 |
| 代理公司： | 上海申新律师事务所 31272 | 代理人： | 俞涤炯 |
| 地址： | 430205 湖北*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 晶圆 托盘 运送 承托 半导体技术领域 距离传感器 碰撞损坏 碰撞物 感测 机器人 自动化 监控 加工 应用 保证 | ||
【权利要求书】：
1.一种机器人，应用于运送晶圆，其特征在于，包括：
托盘，用于承托晶圆；
第一距离传感器，设置于所述托盘的前端，用于感测所述托盘承托的所述晶圆前方的物体的距离；
运动执行部件；
处理器，分别连接每个所述第一距离传感器；
控制器，分别连接所述处理器和所述运动执行部件。
2.根据权利要求1所述的机器人，其特征在于，所述托盘的前端开设有第一凹槽，所述第一距离传感器嵌设于所述第一凹槽中。
3.根据权利要求1所述的机器人，其特征在于，还包括：
复数个第二距离传感器，布设于所述托盘的承托面上，用于感测所述晶圆与所述承托面之间的距离。
4.根据权利要求3所述的机器人，其特征在于，所述托盘的上表面开设有第二凹槽，所述第二距离传感器嵌设于所述第二凹槽中。
5.根据权利要求3所述的机器人，其特征在于，复数个所述第二距离传感器均匀分布于所述承托面上。
6.根据权利要求3所述的机器人，其特征在于，第二距离传感器的数量为3个。
7.根据权利要求6所述的机器人，其特征在于，3个所述第二距离传感器两两之间等间距分布。
8.根据权利要求1所述的机器人，其特征在于，所述运动执行部件为电机。
9.根据权利要求1所述的机器人，其特征在于，所述第一距离传感器为激光测距传感器。
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