[实用新型]一种机器人

说明书

本实用新型涉及半导体技术领域，尤其涉及一种机器人，应用于运送晶圆；其中，包括：托盘，用于承托晶圆；第一距离传感器，设置于托盘的前端，用于感测托盘承托的晶圆前方的物体的距离；能够对运送的晶圆的情况进行监控，避免在运送晶圆的过程中与碰撞物进行碰撞损坏晶圆，保证了晶圆运送及加工的自动化运行的可靠。

技术领域

本实用新型涉及半导体技术领域，尤其涉及一种机器人。

背景技术

机器人在半导体自动化设备中应用十分广泛。利用机器人，可以实现运送晶圆的自动化，能够适应工业大批量的晶圆生产、加工要求。

但是，目前广泛使用的机器人通常是通过卡簧或者真空来固定晶圆。在机器人运行的过程中，如果控制机器人运行的数据存在丢失的情况，机器人则会带着晶圆偏离原定的运行轨迹。如果发现不及时，很容易造成晶圆的损坏，严重时还可能造成晶圆报废的情况甚至出现生产事故。

实用新型内容

针对上述问题，本实用新型提出了一种机器人，应用于运送晶圆，其中，包括：

托盘，用于承托晶圆；

第一距离传感器，设置于所述托盘的前端，用于感测所述托盘承托的所述晶圆前方的物体的距离。

上述的机器人，其中，所述托盘的前端开设有第一凹槽，所述第一距离传感器嵌设于所述第一凹槽中。

上述的机器人，其中，还包括：

复数个第二距离传感器，布设于所述托盘的承托面上，用于感测所述晶圆与所述承托面之间的距离。

上述的机器人，其中，所述托盘的上表面开设有第二凹槽，所述第二距离传感器嵌设于所述第二凹槽中。

上述的机器人，其中，复数个所述第二距离传感器均匀分布于所述承托面上。

上述的机器人，其中，第二距离传感器的数量为3个。

上述的机器人，其中，3个所述第二距离传感器两两之间等间距分布。

上述的机器人，其中，还包括：

运动执行部件；

处理器，分别连接每个所述距离传感器；

控制器，分别连接所述处理器和所述运动执行部件。

上述的机器人，其中，所述运动执行部件为电机。

上述的机器人，其中，所述第一距离传感器为激光测距传感器。

有益效果：本实用新型提出的一种机器人，能够对运送的晶圆的情况进行监控，避免在运送晶圆的过程中与碰撞物进行碰撞损坏晶圆，保证了晶圆运送及加工的自动化运行的可靠。

附图说明

图1为本实用新型一实施例中机器人的侧视示意图；

图2为本实用新型一实施例中机器人的俯视示意图。

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本实用新型进行进一步说明。

在一个较佳的实施例中，如图1所示，提出了一种机器人，可以应用于运送晶圆，其中，可以包括：

托盘10，用于承托晶圆；

第一距离传感器21，设置于托盘10的前端，用于感测托盘10承托的晶圆前方的物体的距离。