[实用新型]隔热板以及蒸镀设备

权利要求书

1.一种隔热板，用于蒸镀设备中，所述蒸镀设备包括蒸镀源，所述蒸镀源包括喷嘴，其特征在于，所述隔热板具有开口，所述开口用于供所述喷嘴穿设在其中，所述隔热板由至少两层反射层叠置形成，且相邻所述反射层之间具有间隔；所述隔热板具有第一表面以及与所述第一表面相对的第二表面，各所述反射层中，至少背离第一表面的面为反射面。

2.根据权利要求1所述的隔热板，其特征在于，所述反射面为镜面反射面。

3.根据权利要求1所述的隔热板，其特征在于，所述反射层的数量为5层，相邻所述反射层之间的间隔距离为2-3mm。

4.根据权利要求1所述的隔热板，其特征在于，所述第一表面具有凹槽，所述开口设于所述凹槽中。

5.根据权利要求4所述的隔热板，其特征在于，所述凹槽具有侧壁和底面，所述开口设于所述底面上，且所述侧壁与所述底面之间的夹角为钝角。

6.根据权利要求5所述的隔热板，其特征在于，所述开口与所述侧壁之间具有间隔。

7.根据权利要求5所述的隔热板，其特征在于，所述隔热板的凹槽的底面为长方形，所述开口数量为多个，且多个所述开口沿所述底面的长度方向间隔排列。

8.根据权利要求4所述的隔热板，其特征在于，所述隔热板的各反射层中均具有与所述凹槽对应的弯折部。

9.一种蒸镀设备，其特征在于，包括：

权利要求1至8中任意一项所述的隔热板；

蒸镀源，包括喷嘴、与所述喷嘴连接的坩埚以及加热单元，所述加热单元用于加热所述坩埚，所述喷嘴穿设在所述隔热板的开口中；所述喷嘴的喷口位于所述隔热板的第一表面的一侧，所述坩埚、所述加热单元位于所述隔热板的第二表面的一侧。

10.根据权利要求9所述的蒸镀设备，其特征在于，所述隔热板的开口的内壁与所述喷嘴的外壁接触。