[实用新型]隔热板以及蒸镀设备

说明书

本实用新型提供一种隔热板以及蒸镀设备，属于显示技术领域，其可至少部分解决现有的隔热板的隔热效果差的问题。本实用新型的一种隔热板，用于蒸镀设备中，蒸镀设备包括蒸镀源，蒸镀源包括喷嘴，隔热板具有开口，开口用于供喷嘴穿设在其中，隔热板由至少两层反射层叠置形成，且相邻反射层之间具有间隔；隔热板具有第一表面以及与第一表面相对的第二表面，各反射层中，至少背离第一表面的面为反射面。

技术领域

本实用新型属于显示技术领域，具体涉及一种隔热板以及蒸镀设备。

背景技术

蒸镀设备用于采用蒸镀工艺在基板上形成发光器件或者其他的功能层，即在一定的真空条件下加热蒸镀材料，使蒸镀材料熔化(或升华)成原子、分子或原子团组成的蒸汽，然后在基板表面凝结成膜，以形成基板上形成发光器件或者其他的功能层。

现有的蒸镀设备一般包括蒸镀源以及隔热板。蒸镀源的喷嘴穿设在隔热板的开口中，而隔热板将蒸镀源的坩埚与待蒸镀的基板隔开，即蒸镀源的坩埚与待蒸镀的基板分别位于隔热板的两侧。其中，坩埚用于承载蒸镀材料，并给蒸镀材料加热以使蒸镀材料从喷嘴射出。隔热板的作用是减少蒸镀源坩埚内向外辐射的热量，保证坩埚温度，使得蒸镀材料能够从喷嘴喷出。

然而，由于现有隔热板的隔热效果不明显，可能导致蒸镀源辐射出的热辐射使基板或掩膜版(如用于使蒸镀材料在基板上形成特定图案的掩膜版)受热后膨胀，从而造成基板的蒸镀的精度(PPA)差，进而造成产品混色不良的问题，降低产品良率。

实用新型内容

本实用新型至少部分解决现有的隔热板的隔热效果差的问题，提供一种隔热效果好的隔热板。

解决本实用新型技术问题所采用的技术方案是一种隔热板，用于蒸镀设备中，所述蒸镀设备包括蒸镀源，所述蒸镀源包括喷嘴，所述隔热板具有开口，所述开口用于供所述喷嘴穿设在其中，所述隔热板由至少两层反射层叠置形成，且相邻所述反射层之间具有间隔；所述隔热板具有第一表面以及与所述第一表面相对的第二表面，各所述反射层中，至少背离第一表面的面为反射面。

进一步优选的是，所述反射面为镜面反射面。

进一步优选的是，所述反射层的数量为5层，相邻所述反射层之间的间隔距离为2-3mm。

进一步优选的是，所述第一表面具有凹槽，所述开口设于所述凹槽中。

进一步优选的是，所述凹槽具有侧壁和底面，所述开口设于所述底面上，且所述侧壁与所述底面之间的夹角为钝角。

进一步优选的是，所述开口与所述侧壁之间具有间隔。

进一步优选的是，所述隔热板的凹槽的底面为长方形，所述开口数量为多个，且多个所述开口沿所述底面的长度方向间隔排列。

进一步优选的是，所述隔热板的各反射层中均具有与所述凹槽对应的弯折部。

解决本实用新型技术问题所采用的技术方案是一种蒸镀设备，包括：

上述的隔热板；

蒸镀源，包括喷嘴、与所述喷嘴连接的坩埚以及加热单元，所述加热单元用于加热所述坩埚，所述喷嘴穿设在所述隔热板的开口中；所述喷嘴的喷口位于所述隔热板的第一表面的一侧，所述坩埚、所述加热单元位于所述隔热板的第二表面的一侧。

进一步优选的是，所述隔热板的开口的内壁与所述喷嘴的外壁接触。

附图说明

图1a为本实用新型的实施例的一种隔热板的立体结构示意图；

图1b为本实用新型的实施例的一种隔热板的俯视结构示意图；

图2为本实用新型的实施例的一种蒸镀设备的结构示意图；