[实用新型]一种推动硅片的装置

权利要求书

1.一种推动硅片的装置，其特征在于，包括固定板、第一推进部和第二推进部；

所述固定板的两侧设置有所述第一推进部和所述第二推进部；

所述第一推进部的推动面与所述第二推进部的推动面分别与花篮中的硅片平面垂直，且所述第一推进部的推动面与所述第二推进部的推动面位于同一平面；其中，所述第一推进部的推动面与所述第二推进部的推动面用于接触所述硅片，所述花篮用于盛放所述硅片。

2.根据权利要求1所述的推动硅片的装置，其特征在于，所述固定板的第一边的长度大于所述花篮的相邻两个底杆之间的距离，小于所述花篮的两侧面之间的距离；其中，所述第一边为与所述硅片平面平行的、且与所述花篮的侧面垂直的边。

3.根据权利要求1所述的推动硅片的装置，其特征在于，所述第一推进部和所述第二推进部为结构相同的长方体结构。

4.根据权利要求3所述的推动硅片的装置，其特征在于，所述长方体结构的第二边的长度为10mm至30mm，所述第一推进部与所述第二推进部推动所述硅片移动的最远距离与所述第二边的长度相同；其中，所述第二边为与所述硅片平面平行的、且与所述花篮的侧面平行的边。

5.根据权利要求4所述的推动硅片的装置，其特征在于，所述长方体结构的第三边的长度小于所述花篮的相邻两个底杆之间的距离；所述长方体结构的第四边的长度小于或等于所述花篮的高度；其中，所述第三边为与所述硅片平面平行的、且与所述第二边垂直相交的边，所述第四边为与所述硅片平面垂直的边。

6.根据权利要求1所述的推动硅片的装置，其特征在于，还包括握持结构；所述握持结构设置在所述固定板上。

7.根据权利要求6所述的推动硅片的装置，其特征在于，所述握持结构还包括至少一凸起部。

8.根据权利要求6或7所述的推动硅片的装置，其特征在于，所述握持结构与所述固定板之间通过螺丝固定连接。

9.根据权利要求1所述的推动硅片的装置，其特征在于，所述第一推进部与所述第二推进部均通过螺丝与所述固定板固定连接。

10.根据权利要求1所述的推动硅片的装置，其特征在于，所述固定板为不锈钢板，所述第一推进部和所述第二推进部均为木材或者橡胶。