[实用新型]一种推动硅片的装置

说明书

本实用新型提供的推动硅片的装置，包括固定板、第一推进部和第二推进部；固定板的两侧平行设置有第一推进部和第二推进部，第一推进部的推动面与第二推进部的推动面分别与花篮中的硅片平面垂直，且第一推进部的推动面与第二推进部的推动面位于同一水平面；其中，第一推进部的推动面与第二推进部的推动面用于接触硅片，花篮用于盛放硅片；这样设置可以保证在推动硅片前进时，硅片受力均匀，将花篮中卡滞的硅片平稳推出卡滞的位置，避免硅片在被推出过程中出现倾斜或者推掉的现象；该装置具有操作简单，方便实用的优点，大大提高了花篮硅片的出片效率和设备的利用率。

技术领域

本实用新型涉及硅片生产技术领域，特别是涉及一种推动硅片的装置。

背景技术

目前，硅片生产行业的检测机器普遍使用硅片分选机，员工将载满硅片的花篮放入硅片分选机的上料台中，分选机的伸缩架伸出通过传感器检测到硅片，通过伸缩架上的皮带将硅片从花篮中抽出。然而，花篮在长期的重复使用后，会产生形变，具体形变包括花篮铁制底板不平，花篮珠子破损、形变和轻微位移等，而花篮形变后，会导致皮带将硅片从花篮中抽出时，硅片会发生卡滞，由于硅片有薄、脆特征，很难对卡滞的硅片使用机器校正。现有处理方法大多是人工使用纸板将花篮中卡滞的硅片推出固定位置，然而采用纸板对卡滞的硅片进行推出处理时，一方面会由于操作的不确定性导致硅片的出片效率低，另一方面也极易由于受力不均匀，将硅片推斜或者推掉，造成硅片损坏。

实用新型内容

为了解决现有技术中存在的技术问题，进而提供了一种推动硅片的装置。

本实用新型提供的推动硅片的装置，包括固定板、第一推进部和第二推进部；固定板的两侧设置有第一推进部和第二推进部；第一推进部的推动面与第二推进部的推动面分别花篮中的与硅片平面垂直，且第一推进部的推动面与第二推进部的推动面位于同一平面；其中，第一推进部的推动面与第二推进部的推动面用于接触硅片，花篮用于盛放硅片。

采用了上述技术方案，推动硅片的装置的固定板的两侧设置有第一推进部和第二推进部，第一推进部的推动面与第二推进部的推动面均与花篮中的硅片平面垂直且两推动面位于同一平面，其中，第一推进部的推动面与第二推进部的推动面用于接触花篮中盛放的硅片；这样设置可以保证在推动硅片前进时，硅片受力均匀，将花篮中卡滞的硅片平稳推出卡滞的位置，避免硅片在被推出过程中出现倾斜或者推掉的现象；该装置具有操作简单，方便实用的优点，大大提高了花篮硅片的出片效率。

优选地，固定板的第一边的长度大于花篮的相邻两个底杆之间的距离，小于花篮的两侧面之间的距离；其中，第一边为与硅片平面平行的、且与花篮的侧面垂直的边。

采用上述技术方案，固定板的第一边的长度大于花篮的相邻两个底杆之间的距离，同时小于花篮的两侧面之间的距离，可以保证第一推进部和第二推进部作用于硅片上，且推进过程中，硅片的受力点可以对称分散于与推动硅片的装置接触的硅片的一边上、且距离该边的中心点相对较远的两侧，使得硅片在对称受力的作用下前进，可以保证花篮中卡滞的硅片平稳推出固定的位置，很好地避免硅片在被推出过程中硅片倾斜。

优选地，第一推进部和第二推进部为结构相同的长方体结构。

采用了上述技术方案，固定板的两端设置结构相同的长方体结构，长方体结构与固定板组装时更容易控制长方体结构的两个推动面位于同一平面，推动硅片时，使得硅片受力更加均匀。

优选地，长方体结构的第二边的长度为10mm至30mm，第一推进部与第二推进部推动硅片移动的最远距离与第二边的距离相同；其中，第二边为与硅片平面平行的、且与花篮的侧面平行的边。

采用了上述技术方案，第一推进部与第二推进部推动硅片移动的最远距离与长方体结构的第二边的长度相同，均为10mm至30mm，该结构可以将花篮中卡滞的硅片推出10mm至30mm，这样在将硅片推出时，由于限定了硅片的推出距离，可以很好的避免硅片在推出时掉落。