[实用新型]用于真空仪器的真空进换样装置

权利要求书

1.一种用于真空仪器的真空进换样装置，其特征在于，包括真空进样机构、真空泵组件以及功率检测器；

所述真空进样机构包括真空箱、位于所述真空箱外的密封盖以及设在所述真空箱内的靶座组件和驱动组件；所述真空箱具有真空腔以及连通所述真空腔的进样孔，所述密封盖用于打开或者关闭所述进样孔的外侧开口，所述靶座组件安装在所述驱动组件上，所述驱动组件用于驱动所述靶座组件移动，当所述靶座组件移动至密封所述进样孔的内侧开口时，所述靶座组件与所述密封盖将所述进样孔密封形成过渡腔；

所述真空泵组件包括分子泵、前级泵、预抽阀、回气阀、回气管以及预抽管；所述分子泵连通所述真空腔，所述分子泵还连通所述前级泵，所述前级泵通过所述预抽管连通所述进样孔；所述预抽阀设在所述预抽管上，所述回气管连通所述进样孔，所述回气阀设在所述回气管上；

所述功率检测器连接所述分子泵用于获取分子泵的功率以得到分子泵功率。

2.根据权利要求1所述的用于真空仪器的真空进换样装置，其特征在于，所述真空箱上设有控制通道，所述控制通道的一端连通所述进样孔，另一端开口于所述真空箱的外表面，所述预抽管与所述回气管均连通所述控制通道的外侧开口。

3.根据权利要求2所述的用于真空仪器的真空进换样装置，其特征在于，所述真空进样机构还包括密封件；所述密封件位于所述真空箱的外部且连接在所述真空箱上以密封所述控制通道的外侧开口，所述密封件上设有抽气孔以及回气孔，所述抽气孔以及所述回气孔均通过所述控制通道与所述进样孔连通，所述预抽阀连接在所述密封件上以用于打开或者关闭所述抽气孔，所述回气阀连接在所述密封件上以用于打开或者关闭所述回气孔，所述预抽管连通所述抽气孔，所述回气管连通所述回气孔。

4.根据权利要求1-3任意一项所述的用于真空仪器的真空进换样装置，其特征在于，所述分子泵的功率为0W-300W，所述预抽管靠近所述进样孔的一端的内径为0.01mm-2mm。

5.根据权利要求4所述的用于真空仪器的真空进换样装置，其特征在于，所述预抽管靠近所述进样孔的一端的内径为0.18mm，所述分子泵的功率为0W-150W。

6.根据权利要求1-3任意一项所述的用于真空仪器的真空进换样装置，其特征在于，所述真空泵组件还包括真空管；所述分子泵通过所述真空管连通所述前级泵，所述真空管的内径大于所述预抽管靠近所述进样孔的一端的内径。

7.根据权利要求1-3任意一项所述的用于真空仪器的真空进换样装置，其特征在于，所述预抽阀为电磁阀。

8.根据权利要求1-3任意一项所述的用于真空仪器的真空进换样装置，其特征在于，所述回气阀为电磁阀。