[实用新型]用于真空仪器的真空进换样装置

说明书

本实用新型公开了一种用于真空仪器的真空进换样装置。该真空进换样装置包括真空进样机构、真空泵组件以及功率检测器；真空进样机构包括真空箱、位于真空箱外的密封盖以及设在真空箱内的靶座组件和驱动组件；真空箱具有真空腔以及连通真空腔的进样孔，驱动组件用于驱动靶座组件移动，靶座组件与密封盖能将进样孔密封形成过渡腔；真空泵组件包括分子泵、前级泵、预抽阀、回气阀、回气管以及预抽管；分子泵连通真空腔，分子泵还连通前级泵，前级泵通过预抽管连通进样孔；预抽阀设在预抽管上，回气管连通进样孔，回气阀设在回气管上；功率检测器连接分子泵。该真空进换样装置成本低、进换样效率高且能准确检测过渡腔内的真空状态。

技术领域

本实用新型涉及一种用于真空仪器的真空进换样装置。

背景技术

近年来，基质辅助激光解吸飞行时间质谱仪(MALDI-TOF MS)已逐渐成为蛋白质、多肽、核酸等生物大分子分析的重要手段。并在微生物鉴定以及核酸检测领域，已经走向临床应用阶段。MALDI-TOF MS需要将待分析的样品物质与基质混合或先后点在样品靶上，干燥之后产生共结晶体，方可进入真空腔中进行分析。真空腔的真空环境由分子泵和前级泵提供，真空腔的压强通常需小于10^-4pa，样品靶放入真空腔一般是采用过渡腔完成。样品靶先放入过渡腔，过渡腔被预抽至粗真空以达到满足分子泵的工作真空度，样品靶才可进入真空腔中。

传统的实现真空切换的方式如下：靶台移动至进样孔的内侧开口处以封闭进样孔的内侧开口，对过渡腔进气使过渡腔室的气压与外界平衡，打开真空箱上的密封盖，进行样品的更换。样品更换完成后，盖上密封盖，样品靶触碰到微动开关，表明盖已盖好，但无法判断密封圈是否正常；对过渡腔进行抽吸，预抽一段时间后，通过低真空规判断预抽的真空度，直到过渡腔达到预定真空度，才可进靶，此时，由于过渡腔室的压强小于真空腔的压强，当靶台移走并打开进样孔的内侧开口之后，过渡腔室和真空腔贯通，真空腔由高真空瞬间变成粗真空环境，此时需要再通过真空泵对真空腔进行抽真空至符合检测环境的高真空状态，并通过真空规进行检测。过渡腔的预抽状况通过低真空规判断，真空腔的真空状态通过真空规判断，如此增加了设计的复杂度和成本。

实用新型内容

基于此，有必要提供一种成本低、进换样效率高且能准确检测过渡腔内的真空状态的用于真空仪器的真空进换样装置。

一种用于真空仪器的真空进换样装置，包括真空进样机构、真空泵组件以及功率检测器；

所述真空进样机构包括真空箱、位于所述真空箱外的密封盖以及设在所述真空箱内的靶座组件和驱动组件，所述真空箱具有真空腔以及连通所述真空腔的进样孔，所述密封盖用于打开或者关闭所述进样孔的外侧开口，所述靶座组件安装在所述驱动组件上，所述驱动组件用于驱动所述靶座组件移动，当所述靶座组件移动至密封所述进样孔的内侧开口时，所述靶座组件与所述密封盖将所述进样孔密封形成过渡腔；

所述真空泵组件包括分子泵、前级泵、预抽阀、回气阀、回气管以及预抽管，所述分子泵连通所述真空腔，所述分子泵还连通所述前级泵，所述前级泵通过所述预抽管连通所述进样孔；所述预抽阀设在所述预抽管上，所述回气管连通所述进样孔，所述回气阀设在所述回气管上；

所述功率检测器连接所述分子泵用于获取分子泵的功率以得到分子泵功率。

在其中一个实施例中，所述真空箱上设有控制通道，所述控制通道的一端连通所述进样孔，另一端开口于所述真空箱的外表面，所述预抽管与所述回气管均连通所述控制通道的外侧开口。

在其中一个实施例中，所述真空进样机构还包括密封件；所述密封件位于所述真空箱的外部且连接在所述真空箱上以密封所述控制通道的外侧开口，所述密封件上设有抽气孔以及回气孔，所述抽气孔以及所述回气孔均通过所述控制通道与所述进样孔连通，所述预抽阀连接在所述密封件上以用于打开或者关闭所述抽气孔，所述回气阀连接在所述密封件上以用于打开或者关闭所述回气孔，所述预抽管连通所述抽气孔，所述回气管连通所述回气孔。