[实用新型]一种全自动摇动式硅片清洗设备有效

申请号：	201821943584.6	申请日：	2018-11-23
公开（公告）号：	CN209049815U	公开（公告）日：	2019-07-02
发明（设计）人：	张旺	申请（专利权）人：	江苏科林泰电子有限公司
主分类号：	B08B3/10	分类号：	B08B3/10;H01L21/67
代理公司：	暂无信息	代理人：	暂无信息
地址：	223005 江苏省淮安市淮安经***	国省代码：	江苏;32
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摘要：
搜索关键词：	清洗设备摇动式硅片清洗设备硅片加热器硅片清洗活动盖清洗本实用新型对称布置硅片放置活动安装节能环保清洗效率伺服电机充分性内底壁清洗水驱动轴附着杂物侧面脱离维护
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【权利要求书】：

1.一种全自动摇动式硅片清洗设备，包括清洗设备本体(1)和活动盖(2)，其特征在于：所述清洗设备本体(1)和活动盖(2)固定连接，所述清洗设备本体(1)的内底壁安装有对称布置的加热器(3)，所述清洗设备本体(1)的内部底侧活动安装有驱动轴(4)，所述清洗设备本体(1)的侧面右侧底部固定安装有第一伺服电机(5)，所述驱动轴(4)的外表面固定安装有均匀布置的驱动齿轮(6)；

所述清洗设备本体(1)的内部安装有多个硅片放置架(7)，所述硅片放置架(7)的底部外侧滑动安装有滑轨(8)，所述硅片放置架(7)的外侧固定连接有齿条(9)，所述滑轨(8)的中部底侧活动安装有连动齿轮(10)，所述硅片放置架(7)的两侧均活动安装有限位滑柱(11)，所述限位滑柱(11)靠近硅片放置架(7)的一端固定安装有轴承(12)；

所述滑轨(8)的内部两侧均开设有滑槽(13)，所述限位滑柱(11)与滑槽(13)滑动连接，所述硅片放置架(7)的正面两侧均设置有螺杆(14)，所述螺杆(14)与清洗设备本体(1)的内底壁活动连接，所述螺杆(14)的外表面安装有套筒(15)，所述套筒(15)的外表面固定连接有支撑杆(16)，所述滑轨(8)的正面两侧均固定连接有固定座(17)，所述支撑杆(16)的顶端和固定座(17)的底端均固定安装有定位柱(18)，所述支撑杆(16)的顶端和固定座(17)的底端之间安装有高强弹簧(19)，所述螺杆(14)的底端贯穿清洗设备本体(1)的底壁并固定安装有第一双股带轮(20)；

所述清洗设备本体(1)的底壁正面中部活动插接有连轴(21)，所述连轴(21)的底端固定安装有第二双股带轮(22)，所述第二双股带轮(22)和第一双股带轮(20)的之间安装有第一皮带(23)，所述连轴(21)的顶端固定安装有连动单股带轮(24)，所述清洗设备本体(1)的侧面左侧底部固定安装有第二伺服电机(25)，所述第二伺服电机(25)的底端固定安装有驱动单股带轮(26)，所述驱动单股带轮(26)和连动单股带轮(24)的之间安装有第二皮带(27)。

2.根据权利要求1所述的一种全自动摇动式硅片清洗设备，其特征在于：

所述加热器(3)的底部与清洗设备本体(1)的内底壁固定连接；

所述驱动轴(4)贯穿清洗设备本体(1)的内壁并与第一伺服电机(5)固定连接。

3.根据权利要求1所述的一种全自动摇动式硅片清洗设备，其特征在于：

所述硅片放置架(7)呈半圆形状，多个所述硅片放置架(7)呈等间距布置。

4.根据权利要求1所述的一种全自动摇动式硅片清洗设备，其特征在于：

所述驱动齿轮(6)和连动齿轮(10)对应设置，所述驱动齿轮(6)和连动齿轮(10)啮合连接；

所述齿条(9)与连动齿轮(10)配合设置，所述齿条(9)与连动齿轮(10)啮合连接。

5.根据权利要求1所述的一种全自动摇动式硅片清洗设备，其特征在于：

所述限位滑柱(11)通过轴承(12)与硅片放置架(7)活动连接；

所述滑槽(13)与限位滑柱(11)配合设置。

6.根据权利要求1所述的一种全自动摇动式硅片清洗设备，其特征在于：