[实用新型]一种全自动摇动式硅片清洗设备

说明书

本实用新型公开了一种全自动摇动式硅片清洗设备，涉及硅片清洗技术领域，该全自动摇动式硅片清洗设备，包括清洗设备本体和活动盖，清洗设备本体和活动盖固定连接，清洗设备本体的内底壁安装有对称布置的加热器，清洗设备本体的内部底侧活动安装有驱动轴，清洗设备本体的侧面右侧底部固定安装有第一伺服电机。该全自动摇动式硅片清洗设备，提高了硅片的清洗效率，加热器工作使得清洗水变成热水，不仅可以清洗硅片上附着的杂物，而且可以使得硅片上的胶体脱离，增强了清洗设备的实用性，实现了多组硅片放置架可以同时进行摇动式清洗，提高了企业的经济效益，节能环保，提高了硅片清洗的充分性和彻底性，降低了维护成本。

技术领域

本实用新型涉及硅片清洗技术领域，具体为一种全自动摇动式硅片清洗设备。

背景技术

现有生活中，太阳能硅片主要用于太阳能转换，依靠中国半导体设备行业数十年来的技术积累，通过和一流光伏电池企业的深度合作，经过连续多年的不懈努力，中国光伏设备企业已基本具备太阳能电池制造设备的整线装备能力，在国产设备及进口设备混搭的主流建线方案中，国产设备在数量上已占多数，但是随着太阳能的硅片的大面积应用，其清洗问题是成为一大问题，硅片表面的清洁度是影响硅片合格率的关键因素，现有的硅片清洗设备清洗效果不充分和不彻底，清洗效率低下，不能够大批量清洗，不够节能环保，不方便调节，可控性较差，机械性能不好。

目前，现有的硅片清洗设备，使用不便，不利于推广使用。

实用新型内容

(一)解决的技术问题

针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种全自动摇动式硅片清洗设备，解决了现有的硅片清洗设备清洗效果不充分和不彻底，清洗效率低下，不能够大批量清洗，不够节能环保，不方便调节，可控性较差和机械性能不好的问题。

(二)技术方案

为实现以上目的，本实用新型通过以下技术方案予以实现：

一种全自动摇动式硅片清洗设备，包括清洗设备本体和活动盖，所述清洗设备本体和活动盖固定连接，所述清洗设备本体的内底壁安装有对称布置的加热器，所述清洗设备本体的内部底侧活动安装有驱动轴，所述清洗设备本体的侧面右侧底部固定安装有第一伺服电机，所述驱动轴的外表面固定安装有均匀布置的驱动齿轮；

所述清洗设备本体的内部安装有多个硅片放置架，所述硅片放置架的底部外侧滑动安装有滑轨，所述硅片放置架的外侧固定连接有齿条，所述滑轨的中部底侧活动安装有连动齿轮，所述硅片放置架的两侧均活动安装有限位滑柱，所述限位滑柱靠近硅片放置架的一端固定安装有轴承；

所述滑轨的内部两侧均开设有滑槽，所述限位滑柱与滑槽滑动连接，所述硅片放置架的正面两侧均设置有螺杆，所述螺杆与清洗设备本体的内底壁活动连接，所述螺杆的外表面安装有套筒，所述套筒的外表面固定连接有支撑杆，所述滑轨的正面两侧均固定连接有固定座，所述支撑杆的顶端和固定座的底端均固定安装有定位柱，所述支撑杆的顶端和固定座的底端之间安装有高强弹簧，所述螺杆的底端贯穿清洗设备本体的底壁并固定安装有第一双股带轮；

所述清洗设备本体的底壁正面中部活动插接有连轴，所述连轴的底端固定安装有第二双股带轮，所述第二双股带轮和第一双股带轮的之间安装有第一皮带，所述连轴的顶端固定安装有连动单股带轮，所述清洗设备本体的侧面左侧底部固定安装有第二伺服电机，所述第二伺服电机的底端固定安装有驱动单股带轮，所述驱动单股带轮和连动单股带轮的之间安装有第二皮带。

可选的，所述加热器的底部与清洗设备本体的内底壁固定连接；

所述驱动轴贯穿清洗设备本体的内壁并与第一伺服电机固定连接。

可选的，所述硅片放置架呈半圆形状，多个所述硅片放置架呈等间距布置。

可选的，所述驱动齿轮和连动齿轮对应设置，所述驱动齿轮和连动齿轮啮合连接；