[实用新型]一种测试芯片及系统

权利要求书

1.一种测试芯片，其特征在于，包括寻址电路、QVCM测试电路、不同测试项转换电路和若干连接到各电路的焊盘；QVCM测试电路经过不同测试项转换电路连接到待测器件的电流测试端；利用不同测试项转换电路，能通过同一个测试结构电路对待测器件的三个测试项：门极总电容Cg-g、门极对衬底的电容Cg-b和衬底电压下门极对源极及漏极的电容Cg-sd@Vb，进行转换测试。

2.根据权利要求1所述的一种测试芯片，其特征在于，所述不同测试项转换电路包括两个MUX21选择器，其中一个MUX21选择器与所有待测器件的衬底B端相连，另一个MUX21选择器与所有待测器件的源极S、漏极D端相连；

每个MUX21选择器由两个传输门构成，两个传输门的输出端共同连接到待测器件，其中一个传输门的输入端连接到测试芯片中的VB电压焊盘,另一个传输门的输入端连接到QVCM测试电路的VE端。

3.根据权利要求1所述的一种测试芯片，其特征在于，所述寻址电路至少包括一个译码器和N个MUX21选择器，N的值和待测器件的数量相同，即每个待测器件的栅极连接有一个对应的MUX21选择器。

4.根据权利要求3所述的一种测试芯片，其特征在于，每个MUX21选择器的输出端与一个对应的待测器件连接；每个MUX21选择器有两个输入端，一个输入端用于充电电压输入，另一个输入端通过信号线连接到测试芯片中的禁止焊盘；

所述禁止焊盘上的电压与测试芯片中QVCM测试电路输出端电压值相同，使得未被选中的待测器件上无电压偏置，不干扰被选中的待测器件的测试精度。

5.根据权利要求3所述的一种测试芯片，其特征在于，所述译码器的数字信号输入端为X个，X＝log₂N，且当log₂N不是整数时，则X取比log₂N大且差值小于1的整数。

6.根据权利要求1所述的一种测试芯片，其特征在于，所述测试芯片采用两组电源供电，将待测器件左右两边的供电电压分开。

7.一种测试系统，其特征在于，包括测试机、探针卡和权利要求1至6中任意一项所述的测试芯片；测试机通过探针卡与测试芯片连接并实现测试。

8.根据权利要求7所述的一种测试系统，其特征在于，所述探针卡上集成有电压产生模块，电压产生模块用于提供充电电压。