[实用新型]一种MOCVD设备尾气热解处理系统

权利要求书

1.一种MOCVD设备尾气热解处理系统，其特征在于，包括：热解装置、冷凝装置和吸附装置；

MOCVD设备的排气口通过管道依序与所述热解装置、所述冷凝装置和所述吸附装置串接；

MOCVD尾气通过所述热解装置进行热分解后，经过所述冷凝装置进行冷却并分离所形成的固态颗粒物或液滴；

所述吸附装置对所述冷凝装置排出的残余尾气进行吸附清理。

2.根据权利要求1所述的MOCVD设备尾气热解处理系统，其特征在于，还包括：浓度检测装置、回收装置和控制单元；

所述浓度检测装置设置在所述冷凝装置的出气口，所述回收装置的进气口通过管道与所述冷凝装置的出气口相连，所述回收装置的出气口通过管路与所述冷凝装置的进气口相连；

所述控制单元分别与所述浓度检测装置、所述热解装置和所述回收装置信号连接；

所述浓度检测装置用于检测残余尾气内的气体浓度，在所述气体浓度大于设定浓度阈值时，所述控制单元控制所述回收装置运行，使残余尾气通过管路返回所述热解装置的进气口。

3.根据权利要求1所述的MOCVD设备尾气热解处理系统，其特征在于，所述热解装置包括：第一加热部和第二加热部；

所述第一加热部用于对流经气体加热至第一设定温度，所述第二加热部用于对流经气体加热至第二设定温度；

所述第一加热部和所述第二加热部均为蜂窝状管道加热棒。

4.根据权利要求3所述的MOCVD设备尾气热解处理系统，其特征在于，所述热解装置还包括：加热腔体；

多个所述第一加热部和所述第二加热部分层排列设置在所述加热腔体内，流经气体在贯穿所述加热腔体时得到逐层递加升温。

5.根据权利要求1所述的MOCVD设备尾气热解处理系统，其特征在于，所述冷凝装置包括：冷凝器和分离腔；

所述冷凝器设置在所述分离腔内，用于使所述分离腔内温度保持在设定冷凝温度内；

所述分离腔的底部设有落料口，所述落料口用于排放在所述分离腔内冷凝生成的固态颗粒物或液滴；

所述分离腔的中部设有排气口，冷凝后形成的残余尾气通过所述排气口排出。

6.根据权利要求1所述的MOCVD设备尾气热解处理系统，其特征在于，所述吸附装置设置有干式吸附剂，对流经的残余气体进行吸附清理。

7.根据权利要求2所述的MOCVD设备尾气热解处理系统，其特征在于，所述回收装置包括：回收管路、送气装置、第一过滤器和第二过滤器；

所述回收管路的入口端作为所述回收装置的进气口，所述回收管路的出口端作为所述回收装置的出气口；

所述第一过滤器设置在所述回收管路的入口端，所述第二过滤器设置在所述回收管路的出口端，所述第一过滤器和所述第二过滤器都用于过滤残余尾气中的固态颗粒物和杂质；

所述送气装置设置在所述回收管路上，用于将所述冷凝装置排出的残余尾气抽送至所述热解装置的进气口。

8.根据权利要求7所述的MOCVD设备尾气热解处理系统，其特征在于，所述送气装置为轴流风扇，在所述气体浓度大于设定浓度阈值时，所述控制单元控制所述轴流风扇运转，抽送残余尾气依序流经所述第一过滤器和所述第二过滤器进行过滤后，送至所述热解装置的进气口。

9.根据权利要求2所述的MOCVD设备尾气热解处理系统，其特征在于，浓度检测装置包括：ASH3浓度仪和PH3浓度仪；

所述ASH3浓度仪用于检测残余尾气中的ASH3浓度，所述PH3用于检测残余尾气中的PH3浓度；

在所述ASH3浓度或所述PH3浓度大于设定浓度阈值时，所述控制单元控制所述回收装置运行。

10.根据权利要求9所述的MOCVD设备尾气热解处理系统，其特征在于，还包括：温度传感器；

所述温度传感器设置在所述热解装置上，用于检测所述热解装置内流经气体的气体温度；

所述温度传感器与所述控制单元信号连接，在所述气体温度小于设定温度阈值时，所述控制单元控制所述热解装置进行升温。