[实用新型]一种MOCVD设备尾气热解处理系统

说明书

本实用新型提供一种MOCVD设备尾气热解处理系统，包括：热解装置、冷凝装置和吸附装置。MOCVD设备的排气口通过管道依序与所述热解装置、所述冷凝装置和所述吸附装置串接。MOCVD尾气通过所述热解装置进行热分解后，经过所述冷凝装置进行冷却并分离所形成的固态颗粒物或液滴；所述吸附装置对所述冷凝装置排出的残余尾气进行吸附清理。本实新型能解决现有MOCVD设备尾气采用吸附剂去除AsH3和PH3，存在成本高、效率低的问题，能提高尾气处理的效率和安全性，降低制造成本。

技术领域

本实用新型涉及尾气处理技术领域，尤其涉及一种MOCVD设备尾气热解处理系统。

背景技术

MOCVD设备在制备太阳能电池等方面有广阔的应用。现阶段的MOCVD设备需要应用大量的气体，包括氢气、氮气、高纯氨气等，同时MOCVD设备工艺过程中排放的尾气中含有大量的AsH3和PH3。一般99％的气体均通过尾气排放，由于氢气具有易燃易爆特性，AsH3和PH3具有腐蚀性和毒性，对环境影响大，安全隐患高，尾气处理难度大。现常使用干式吸附方法处理尾气中的AsH3和PH3，该方法需要消耗大量昂贵的吸附剂，增加制造成本。

实用新型内容

本实用新型提供一种MOCVD设备尾气热解处理系统，解决现有MOCVD设备尾气采用吸附剂去除AsH3和PH3，存在成本高、效率低的问题，能提高尾气处理的效率和安全性，降低制造成本。

为实现以上目的，本实用新型提供以下技术方案：

一种MOCVD设备尾气热解处理系统，包括：热解装置、冷凝装置和吸附装置；

MOCVD设备的排气口通过管道依序与所述热解装置、所述冷凝装置和所述吸附装置串接；

MOCVD尾气通过所述热解装置进行热分解后，经过所述冷凝装置进行冷却并分离所形成的固态颗粒物或液滴；

所述吸附装置对所述冷凝装置排出的残余尾气进行吸附清理。

优选的，还包括：浓度检测装置、回收装置和控制单元；

所述浓度检测装置设置在所述冷凝装置的出气口，所述回收装置的进气口通过管道与所述冷凝装置的出气口相连，所述回收装置的出气口通过管路与所述冷凝器的进气口相连；

所述控制单元分别与所述浓度检测装置、所述热解装置和所述回收装置信号连接；

所述浓度检测装置用于检测残余尾气内的气体浓度，在所述气体浓度大于设定浓度阈值时，所述控制单元控制所述回收装置运行，使残余尾气通过管路返回所述热解装置的进气口。

优选的，所述热解装置包括：第一加热部和第二加热部；

所述第一加热部用于对流经气体加热至第一温度，所述第二加热部用于对流经气体加热至第二温度；

所述第一加热部和所述第二加热部均为蜂窝状管道加热棒。

优选的，所述热解装置还包括：加热腔体；

多个所述第一加热部和所述第二加热部分层排列设置在所述加热腔体内，流经气体在贯穿所述加热腔体时得到逐层递加升温。

优选的，所述冷凝装置包括：冷凝器和分离腔；

所述冷凝器设置在所述分离腔内，用于使所述分离腔内温度保持在设定冷凝温度内；

所述分离腔的底部设有落料口，所述落料口用于排放在所述分离腔内冷凝生成的固态颗粒物或液滴；

所述分离腔的中部设有排气口，冷凝后形成的残余尾气通过所述排气口排出。

优选的，所述吸附装置设置有干式吸附剂，对流经的残余气体进行吸附清理。