[实用新型]一种用于加工CPU晶圆产品的工装

权利要求书

1.一种用于加工CPU晶圆产品的工装，其特征在于，包括工作台板、工装板、定位销、张紧槽、固定槽和锁紧螺丝；所述的工作台板位于加工设备上，跟随设备工作台自由转动；所述的工装板位于所述的工作台板上，与所述的工作台板固定连接；所述的定位销位于所述的工作台板和工装板之间，贯穿所述的工装板和工作台板，定位所述的工装板和工作台板；所述的张紧槽位于所述的工装板上，贯穿所述的工装板；所述的固定槽位于所述的张紧槽的一侧，贯穿所述的工装板；所述的锁紧螺丝位于所述的张紧槽内，贯穿所述的张紧槽，与所述的张紧槽螺纹连接。

2.如权利要求1所述的一种用于加工CPU晶圆产品的工装，其特征在于，所述的固定槽由两个设置为一组，对称分布在所述的张紧槽的两侧。

3.如权利要求2所述的一种用于加工CPU晶圆产品的工装，其特征在于，所述的张紧槽设置有多个，均匀分布在所述的工装板上，所述的固定槽与所述的张紧槽位置相对应，设置有多组。

4.如权利要求3所述的一种用于加工CPU晶圆产品的工装，其特征在于，每一个所述的张紧槽设置有弹簧孔，所述的弹簧孔位于所述的张紧槽的一端，贯穿所述的工装板。

5.如权利要求4所述的一种用于加工CPU晶圆产品的工装，其特征在于，所述的弹簧孔设置有两个，对称分布在所述的张紧槽的两端。

6.如权利要求1所述的一种用于加工CPU晶圆产品的工装，其特征在于，所述的工作台板设置有支撑板，所述的支撑板位于所述的工作台板的下方，与所述的工作台板固定连接。

7.如权利要求6所述的一种用于加工CPU晶圆产品的工装，其特征在于，所述的工作台板上设置有连接螺丝，所述的连接螺丝设置有多个，与所述的支撑板固定连接，对称分布在所述的工作台板的四角。

8.如权利要求1所述的一种用于加工CPU晶圆产品的工装，其特征在于，所述的工作台板上设置有避位槽，所述的避位槽位于所述的工装板的下方，位置与所述的工装板相对应。

9.如权利要求8所述的一种用于加工CPU晶圆产品的工装，其特征在于，所述的工装板上设置有固定螺丝，所述的固定螺丝设置有多个，与所述的工作台板固定连接，对称分布在所述的工装板的四角。